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2024-05-21
내역사업 | 글로벌박사펠로우십사업 |
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과제명 | 농도 구배를 가지는 블록을 포함한 블록 공중합체의 열역학적 설계 및 합성을 통한 10 나노미터 이하 급 수직 배향 라멜라 패턴 형성 | ||||
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과제고유번호 | 1345331358 | ||||
부처명 | 교육부 | ||||
시행계획 내 사업명 | |||||
시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2019-03-01 ~ 2021-08-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-03-01 ~ 2021-08-31 |
연구목표 | 블록 공중합체의 자기조립 기술은 나노 미터 수준의 패턴을 저비용, 높은 처리량으로 만들 수 있다는 장점이 있다. 그러나 블록 공중합체 자기조립 기술을 이용하여 10 나노미터 이하 급의 패턴을 만들기 위해서는, 두 블록의 화학적 성질 차이를 의미하는 플로리-허긴스 상호 인자의 상승이 필요하지만, 블록 공중합체를 이에 맞추어 설계할 경우 라인 패턴 제작을 위한... | ||
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연구내용 | 1. 농도 구배를 가지는 블록 공중합체의 열역학적 설계표면 에너지의 계산을 통하여 제안된 블록 공중합체가 수직 배향 라멜라 패턴을 선호할 수 있을 것으로 예상되었다. 보다 정밀한 분석을 위해, 표면 에너지뿐만 아니라 블록 공중합체 필름의 바닥 계면 에너지와 고분자의 스트레칭 에너지를 포함한 자유 에너지 계산을 진행하고자 한다. 또한, 소각 엑스레이 산란 측... | ||
기대효과 | 제안 된 연구를 진행함을 통하여 재료과학 및 화학 분야에 영향을 줄 수 있을 것으로 기대된다. 먼저 재료과학 분야에서는 표면에 구애 받지 않고 수직 배향이 가능한 블록 공중합체 재료를 제안함을 통하여 기존의 블록 공중합체를 이용한 반도체 패터닝의 기술적 장벽을 제거하여 기술의 실용화를 가져오는데 크게 일조할 수 있을 것으로 기대된다. 또한 연구가 많이 진행... | ||
키워드 | 블록 공중합체, 리소그래피, 고분자 중합 |
단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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연구개발단계 | 기타 | 산업기술분류 | |
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미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 고분자재료 > 중합반응/공정기술 |
주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(화학물질 및 화학제품) | |
중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
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연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
국비 | 10,375,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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비고 |