과제 상세정보
목록이차원 소재의 계면특성 조절 및 확산방지 효과를 이용한 초미세 반도체 소자 및 공정 한계극복 기술개발
작성자
관리자
조회수
58
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 지역대학우수과학자지원사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 이차원 소재의 계면특성 조절 및 확산방지 효과를 이용한 초미세 반도체 소자 및 공정 한계극복 기술개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1345334666 | ||||
| 부처명 | 교육부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-06-01 ~ 2025-05-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-06-01 ~ 2022-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | 초고직접 반도체 스케일링이 10nm 미만에 접어들면서 Source/Drain 접합저항, 반도체/유전체에서의 계면결함 증가현상이 반도체 소자의 성능향상에 제약을 발생시켜 소재의 물성, 공정기술의 한계를 나타내고 있다. 본 연구에서는 이러한 초미세 반도체 소자 및 공정에서 발생사는 문제점을 해결하고자 2차원 소재의 계면특성 제어, 확산방지 효과를 이용하여 새로... | ||
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| 연구내용 | ◼1단계: 2D 소재의 탐색 및 선정소재를 선별하기 위해 Density Functional Theory (DFT) 기반 전산모사를 이용해 반도체 표면상에서의 안정한 열역학적 구조를 규명하고 이에 따른 energy-band 구조 및 interface state에 대한 소재 특성값을 예측하여 최적의 2D 물질을 선정◼2단계: 2D 소재를 이용한 S/D 접합 구... | ||
| 기대효과 | 1) 연구개발성과의 활용방안◼차세대 반도체 산업의 원천기술 확보반도체 산업에서 경쟁우위를 점하기 위해 초미세 기술 경쟁이 치열하게 이루어지고 있다. 초미세 반도체 소자에서의 금속접합, 유전체 계면 문제점을 극복할 원천기술을 확보함에 따라 우리나라 산업의 근간이 되는 반도체 분야에서의 초격차를 실현할 수 있는 기반을 마련할 것이라 기대된다.◼고성능 저전력 반... | ||
| 키워드 | 차세대 반도체 소자,차세대 반도체 공정,2차원 소재 및 소자,2차원 소재의 계면특성 제어효과,2차원 소재의 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 광/전자세라믹스 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한밭대학 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한밭대학 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 75,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||