과제 상세정보
목록칩스케일 원자 장치를 위한 분광셀 집적 감지 장치 개발
작성자
관리자
조회수
43
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 기본연구(1년~5년) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 칩스케일 원자 장치를 위한 분광셀 집적 감지 장치 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1345344267 | ||||
| 부처명 | 교육부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2018-06-01 ~ 2022-05-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-03-01 ~ 2022-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | o 개발 목표: 200mm 웨이퍼 레벨 집적 공정 기반으로 MEMS 증기셀이 집적된 실리콘 포토다이오드 개발- 고신뢰성을 갖는 QWP 및 MEMS 증기셀 집적을 위한 밀폐용기 접합 기술 개발- CPT 신호 획득을 위한 75℃ 이상에서 동작하는 실리콘 포토다이오드 및 MEMS 증기셀 집적 기술 개발- 온도 제어를 위한 히터 및 온도센서 집적 및 칩 스케일 원... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | (1) 고신뢰성을 갖는 QWP 및 MEMS 증기셀 내장을 위한 밀폐용기 접합 기술 개발- Quartz를 이용한 low order QWP 개발- Quartz 및 실리콘 cavity 웨이퍼의 450도 이하 접합 기술 개발- Quartz/Si의 접합을 통한 MEMS 분광셀 제작 및 신뢰성 평가(2) CPT 신호 획득을 위한 75℃ 이상의 고온 동작 실리콘 포토다... | ||
| 기대효과 | - 초소형 원자시계는 정보통신 산업 발전으로 고정밀 시계의 수요가 지속적으로 증가하고 있는 추세이며, 특히, 스마트폰, 자동차, 개인 주행 보조장치 등에 사용될 수 있는 고정밀 내비게이션 기능 확보가 가능하여 새로운 신규 시장 창출이 기대됨- 유비쿼터스, 인도어 위치 시스템(indoor positioning system), 차세대 통신 등의 새로운 고정밀 ... | ||
| 키워드 | 원자시계,MEMS,웨이퍼 집적 공정,원자분광 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 무기센서 및 제어 > MEMS |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 50,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||