과제 상세정보
목록LTPS 수준의 고성능 산화물계 박막 트랜지스터 기술개발
작성자
관리자
조회수
56
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 보호연구지원사업(1년~5년) |
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과제 기본정보
| 과제명 | LTPS 수준의 고성능 산화물계 박막 트랜지스터 기술개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1345344515 | ||||
| 부처명 | 교육부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2019-06-01 ~ 2022-05-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-03-01 ~ 2022-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | 본 연구는 최근 국내 디스플레이 산업의 세계 점유율 및 영향력 감소를 인지하고 이를 극복하고자 하며, 보다 높은 기술력 확보를 통해 시장 영향력을 강화하고자 함. 구체적인 목표는 크게 세 가지로 구성되어 있음.1) 공정온도 150℃ 이하, 전계 효과 이동도 100 cm2/Vs 이상 및 고신뢰성의 Low Temperature Poly Si (LTPS)급 산화... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 1. 1차년도: 고성능의 질산화물 기반 p, n형 반도체 박막 및 소자 개발 고성능 ZnON, InON, CuON, SnON 등 질산화물 기반 트랜지스터 기술 개발 - Sputtering 및 co-sputtering 증착법에 의한 질산화물 반도체 성막 기술 개발 및 도핑 원소, 최종 질산화물 재료 선정 - XRD, Hall effect measurement... | ||
| 기대효과 | 초고이동도 금속 질산화물 박막 트랜지스터의 개발은 현재 국내외 디스플레이 업계의 최대 화두인 초대형, 초고해상도 디스플레이 실현을 빠르게 만족시킬 수 있는 대안으로 판단됨. 특히, 고가의 LTPS를 대체할 수 있는 저비용 양산형 금속 질산화물 트랜지스터 기술의 개발은 국내 업계의 시장 영향력 강화 뿐만 아니라, 차세대 디스플레이 분야에서 신규 시장의... | ||
| 키워드 | 박막 트랜지스터,고이동도,p형 산화물계 반도체,고신뢰성,질산화물 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 나노세라믹 복합재료기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 교육 및 인력양성 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 충남대학 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 충남대학 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 100,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||