| 연구목표 |
a. 고분해능 광학 현미경 광학 설계를 바탕으로 테스트베드 구축하고 측정 목표에 맞는 미세 패턴(Fine pitch) 을 갖는 표준시편 제작 및 이를 이용한 기초 성능 검증b. 고분해능 광학 현미경의 시스템 설계 및 시제품 제작c. 고분해능 광학 현미경과 대영역 3D 형상 측정 장치를 통합한 반도체 공정용 자동화 3D 검사 시스템 설계a. 절대거리 간섭계 ... |
| 연구내용 |
-1차년도에 이론적으로 검증된 측정 기술 기반의 광학부품 및 광학계 설계안을 바탕으로 테스트베드를 구축하고 기초 실험을 위한 기본적인 제어 및 측정 프로그램과 측정 결과 분석 프로그램을 제작한다. -산업적으로 필요로 하는 측정 목표인 1 um 이하의 선폭을 가지면서 1.5 um 이상의 단차 정보를 갖는, 즉 종횡비 1.5 이상의 미세 패턴을 설계 및 가공... |
| 기대효과 |
-고분해능 광학 현미경 측정 장치 제작 후 국내외 유수의 전시회 참가를 통해 시장 진출 가능성을 알아보고 글로벌 해외 기업과의 기술 경쟁을 통하여 기술에 대한 홍보 효과 및 기업 이미지 증대, 크게는 수출 증대에 기여할 수 있다.-고속의 실시간 3D 형상 측정 기술, 웨이퍼 및 폴리머 필름의 두께 및 3D 형상 측정 기술의 기초 실험을 통해 기술의 시장 적... |
| 키워드 |
미세 선폭,대영역 3D 측정,절대거리 간섭계,FOPLP 공정용 측정 장비 ,웨이퍼 두께 측정 |