과제 상세정보
목록상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법 국제표준 개발
작성자
관리자
조회수
34
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 국가표준기술력향상 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법 국제표준 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415172788 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 계속과제 | 이전연도 과제번호 | 1415167378 | ||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2019-07-01 ~ 2022-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | “상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법”표준안 CD 승인- ISO/TC-201 총회 및 VAMAS TWA2 회의에 참가하여 표준안을 협의함- 표면분석 전문가 교육 교재 개발 및 표면분석 전문가 교육 개최- 표면분석 심포지움 개최를 통한 나노박막두께측정법 필요성 홍보- 표면분석 전문가 교육을 통한 산화막 두께측정 능력 향상- 핵심 ICT 소자 산업체... | ||
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| 연구내용 | 1. 규격제정/제안/등록(1) 국제규격 : 표준안 CD 승인 1) 상호보정법에 의한 산화물 초박막 절대두께측정법 표준안 CD 승인 - CD 발표 (ISO/TC-201 SC6 미팅, 2021년 9월~11월, 미국) - CD 투표 승인 1건2. 국제표준화 활동(1) 국제회의 개최 및 참가 1) ISO/TC-201 총회 참가 - 국제회의 일정: 202... | ||
| 기대효과 | - 최고 수준의 분석법 확립 및 이를 이용한 국제표준 개발은 ICT 첨단 소자 제작 공정 메트롤로지에 대한 신뢰도를 향상시키고 첨단 산업의 국제 경쟁력을 높일 수 있으며 첨단업체의 독자적인 기술 개발 촉진은 물론 새로운 분석법 또는 활발한 응용 연구 개발로 기존의 분석 방법과 시너지 효과를 얻을 수 있음.- ICT 첨단 소재 및 소자를 위한 초정밀 측정 기... | ||
| 키워드 | 산화막,절대두께,상호보정,엑스선광전자분광법,측정소급체계 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 교정/시험평가 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(비금속광물 및 금속제품) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 115,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||