과제 상세정보
목록(1세부) 반도체 공정용 불화수소 표준가스 개발 및 보급
작성자
관리자
조회수
91
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 상용표준물질개발보급사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | (1세부) 반도체 공정용 불화수소 표준가스 개발 및 보급 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415173252 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2020-02-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 1) 저농도 HF 인증표준물질(5 μmol/mol, 20 μmol/mol, 50 μmol/mol in N2)을 제조하고, 국가표준기관인 KRISS 에서 보급 계획인 HF CRM (50 μmol/mol in N2) 과 소급성 체계를 확립2) KOLAS 표준물질생산기관 인정범위를 확대 (저농도 HF in N2 추가)3) KOLAS 인정범위 확대 후 HF 인증표... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 1) 특성값 및 유효성 확립 - 소급성 확립을 위한 국가표준기관의 CRM 확보 및 비교분석 - 안정성평가를 위한 HF 후보표준물질 제조 - 안정성 평가 및 유효기간 설정 - 특성값 및 최종 불확도 산출2) 표준물질 인정범위 확대 (KOLAS) - KS A ISO Guide 34 에 따른 표준물질 생산프로세스 수립 및 문서화 - KOLA... | ||
| 기대효과 | 1) KRISS CRM 과 소급성을 가지는 저농도 HF 인증표준물질(5 μmol/mol, 20 μmol/mol, 50 μmol/mol in N2)을 생산하여 산업체에 보급한다.2) 생산된 HF 인증표준물질은 KOLAS 표준물질생산기관 인정범위에 추가하고, KOLAS의 신뢰도를 바탕으로 산업체에 보급함으로써 산업현장에서 HF 측정의 신뢰도를 높일 수 있다.... | ||
| 키워드 | 불화수소,인증표준물질,불확도,소급성,국제표준물질등록센터 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | ET(환경기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 화공 > 화학제품 > 달리 분류되지 않는 화학제품 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(화학물질 및 화학제품) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)리가스 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)리가스 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 학사이하 | 최종학력전공 |
사업비
| 국비 | 100,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||