과제 상세정보
목록반도체 플라스마 식각장비의 2피스 포커스링 제작 기술개발
작성자
관리자
조회수
68
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 소재부품기술기반혁신사업 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 반도체 플라스마 식각장비의 2피스 포커스링 제작 기술개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415176853 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-04-01 ~ 2022-03-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-04-01 ~ 2022-03-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 반도체 플라스마 식각 장비에 있어서, 기존에 1피스(One-piece) 포커스링을 2피스 포커스링으로 제작하는 기술을 개발하고자 함. | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ?? 가공이 어려운 종래에 1-piece 포커스링을 상하 포커스링으로 분리 가공하여 체결하는 2-piece 포커스링을 개발함.?? 포커스링 가공성과 정밀도를 향상시켜 불량률을 획기적으로 줄일 수 있으며, 교체 비용을 대폭 절감할 수 있음.?? 주관기관 - 상하부 포커스링 결합 볼트의 구조 시뮬레이션 - 상하부 포커스링 결합 볼트의 재료특성 시뮬레이션 ... | ||
| 기대효과 | ?? 기술적 파급효과 - 1-piece 포커스링을 2-piece 포커스링으로 기술개발이 성공하게 되면 반도체 식각장비 1위 업체인 램리서치 회사에 본 포커스링이 메인으로 장착될 수 있어서, 본 기술개발이 세계적으로 인정받을 수 있는 독보적인 기술임. - 하부 플라즈마 포커스링을 가공물 고정 척에 흔들림 없이 안정적으로 고정하게 되어, 하부 플라즈마 포커... | ||
| 키워드 | 반도체식각장비,1피스포커스링,2피스포커스링,포커스링슬롯가공,체결부재 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 요소부품 > 절삭/연삭공구 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술정보연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술정보연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 50,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||