| 연구목표 |
◦ 레이저를 조명 및 디스플레이용으로 사용하기 위한 CGH 제작을 가능하게 하는 반도체가공 기술 개발 - 다중 위상도 : 투명(석영)/불투명(실리콘) 기판상에서 다층 정렬기술 및 다층 형상구현 기술 개발을 통한 다중 위상도 4이상(4단차) 달성 - 형상 정밀도 : 고정밀 스텝퍼를 사용하여 투명(석영)/불투명(실리콘) 기판에 형성된 서브 마이크론 다층... |
| 연구내용 |
◦대용량 홀로그래픽 광학계산 기술개발- 동시에 여러 개를 계산할 수 있는 Multi-tasking 기술 개발 ◦홀로그래픽 광학소자 레이아웃배치 및 마스크 기술 개발- 광학 리소그라피 미세형상 가공용 CGH 마스크 설계(스테퍼 및 접촉노광) ◦홀로그래픽 위상배열 광학소자 설계 및 제작기술 개발- 광리소그래피 기술, 투명기판의 overlay alignmen... |
| 기대효과 |
(1) 과학·기술적 측면 - 레이저 조명/디스플레이의 핵심원천기술 확보로 신기술/신과학 창제 - 최첨단 과학기술의 현실 사업화를 통해 세상을 선도 - 최첨단 과학기술의 융복합을 통한 신기술/신과학 창제 (2) 산업적·사회적 측면 - 핵심 원천기술의 확보로 다양한 신산업 창출 - 신기술 개발에 의한 레이저 조명/디스플레이 산업분야 발전 ... |
| 키워드 |
홀로그래피,컴퓨터생성홀로그램,레이저,홀로그래픽광학소자,디스플레이 |