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AlN기반 UVC LED Epi-wafer and HEMT Epi-wfer

작성자

관리자

조회수

57

등록일

2024-05-21

사업 정보
내역사업 (5월) 팁스(TIPS) 창업팀 지원계획 공고
과제 기본정보
과제명 AlN기반 UVC LED Epi-wafer and HEMT Epi-wfer
과제고유번호 1425149231
부처명 중소벤처기업부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2021 총연구기간 2020-06-01 ~ 2022-05-31 당해연도 연구기간 2021-01-01 ~ 2021-05-31
요약 정보
연구목표 1 차년도 개발 목표 - 자체 고온용 MOCVD 장비 set up (2x6장 REactor and 4x8장 Reactor) - 2inch 와 4inch AlN on Sapphire 성장 - 2inch AlN on Sapphire Wafer Specification - XRD (002) 250 arcsec - XRD (102) 500...
연구내용 1 차년도 개발 목표 - 자체 고온용 MOCVD 장비 set up (2"x6장 REactor and 4"x8장 Reactor) - 2inch 와 4inch AlN on Sapphire 성장 - 2inch AlN on Sapphire Wafer Specification - XRD (002) < 250 arcsec - XRD (102) <...
기대효과 1 차년도 개발 목표 - 자체 고온용 MOCVD 장비 set up (2"x6장 REactor and 4"x8장 Reactor) - 2inch 와 4inch AlN on Sapphire 성장 - 2inch AlN on Sapphire Wafer Specification - XRD (002) < 250 arcsec - XRD (102) <...
키워드 알루미늄나이트라이드,심자외선 엘이디,고속전자소자,고온 유기금속증착,박막성장
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 개발연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) IT(정보기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > 화합물소자
주력산업분류 적용분야 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 엘앤디전자 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 엘앤디전자 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 공학
사업비
국비 208,000,000 지방비(현금+현물) 0
비고