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2024-05-21
| 내역사업 | 2020년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제2차 시행계획 공고 |
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| 과제명 | OLED 유기 박막 깊이 방향 및 불순물 분석을 위한 Gas Cluster Ion Beam 모듈 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425151011 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2020-11-01 ~ 2022-10-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-10-31 |
| 연구목표 | 주관기관 개발목표- GCIB 모듈 설계, 제작, 최적화 및 테스트 챔버 관련 전체 유틸리티 설계를 진행하고, GCIB 모듈 성능테스트 진행주관기관 개발목표 - GCIB 모듈 시뮬레이션 및 설계 인자를 도출하고, 분석용 Linear 질량분석기 설계 및 제작을 진행. 또한 GCIB 모듈 성능테스트 및 질량분석 기반 불순물 분석연구를 진행 | ||
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| 연구내용 | - GCIB 소스 설계 및 제작 - 테스트용 챔버 및 진공 시스템 설계 - 고진공용 5축 스테이지 설계 - 샘플 loading 장치 및 전체 시스템 하우징 설계 - 분석용 Linear 질량분석기 설계 및 제작- GCIB 소스 시뮬레이션, 설계 인자 Feedback 및 성능 테스트- GCIB 소스 깊이 방향 식각 분해능 및 질량분석 기반 불순물 분석 연구 ... | ||
| 기대효과 | - GCIB 모듈 시뮬레이션 결과 및 제작품- 테스트 챔버 관련 시스템 도면- 분석용 Linear 질량분석기 제작품- GCIB 모듈 성능테스트 결과 및 질량분석 기반 불순물 분석 연구 초기 데이터 | ||
| 키워드 | 가스클러스터 이온빔 모듈,유기발광다이오드,깊이 방향 분석,1nm 깊이 분해능,불순물 분석 | ||
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 디스플레이 > 디스플레이 측정/검사장비 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)와이엔디케이 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)와이엔디케이 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
| 국비 | 287,250,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||