| 연구목표 |
- 고품위 비파괴 검사용 나노 전계 에미터 기반 디지털 엑스선 튜브- 디지털 엑스선 튜브 고진공 밀봉 제조 기술- 디지털 엑스선 튜브 부품 설계 및 제조 기술- 디지털 엑스선 튜브 안정화 및 평가 기술- 다중 초점 디지털 엑스선 튜브 구조 설계- 디지털 엑스선 튜브 성능 평가 및 검증 |
| 연구내용 |
1. 디지털 엑스선 튜브 고진공 밀봉 제조 기술 - 브레이징 장비를 이용한 이종접합 구조 설계 및 제조 기술 개발 . 세라믹-금속 이종접합 구조 설계 및 제조 . 이종접합 구조에 따른 온도 및 열팽창계수의 시뮬레이션 도출 . 엑스선 튜브 고진공(~10-6torr) 확보를 위한 브레이징 공정 개발2. 디지털 엑스선 튜브 부품 설... |
| 기대효과 |
- 본 과제를 통해 개발될 디지털 엑스선 튜브를 수요를 제기한 ㈜휴비츠, ㈜뷰웍스 등의 전문 업체로 공급되어 사업화될 예정이며, 이에 따라 국내 엑스선 검사 장비 적용을 통해 현재 20% 수준에 그치는 반도체 장비 국산화율을 높여 후공정에 대한 해외 의존도를 낮출 수 있을 것으로 기대됨. 더 나아가 엑스선 검사장비의 핵심부품인 엑스선 튜브는 단순 국산화를 ... |
| 키워드 |
비파괴검사,방사선투과검사,가변초점,엑스선튜브,멀티포커스 |