반도체 세정 공정용 300 mm 급 불화물계 세라믹 소재 개발
사업 정보
| 내역사업 |
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
과제 기본정보
| 과제명 |
반도체 세정 공정용 300 mm 급 불화물계 세라믹 소재 개발 |
| 과제고유번호 |
1425153205 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
예산출처지역 |
대전광역시 |
사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2021 |
총연구기간 |
2019-11-06 ~
2021-11-05
|
당해연도 연구기간 |
2021-01-01 ~
2021-11-05
|
요약 정보
| 연구목표 |
* 불화물계 소재의 가공성 평가: 물성 차이에 따른 가공성 확인 및 정밀 가공 조건 확립* 대형 시작품 제작용 몰드 설계: 세라믹 소재 특성을 반영한 몰드 설계* 300 mm급 불화물계 시작품 제작: 대형상 균일 소결체 제조 공정 기술 구축 |
| 연구내용 |
* 불화물계 소재의 가공성 평가 - 기계적 물성 차이에 따른 가공성 확인 - 복잡형상 가공을 위한 성형체/소결체 가공성 확인 - YxOyFz계 소재의 조성비에 따른 가공성 비교 - 고밀도 플라즈마 노출에 의한 식각률을 최소화하기 위해 표면조도 Ra 0.6 ㎛이하의 초정밀 가공 공정 조건 개발 * 대형 시작품 제작용 몰드 설계 - 세라믹 제품의 수축율을... |
| 기대효과 |
* 반도체 세정 제조 공정용 300 mm급 고밀도·고품질 불화물계 세라믹스 소재 기술 개발에 따른 세정 공정 부품 교체 가능* 오염입자 발생 최소화에 따른 반도체 불량률 저감, 공정 부품 수명 향상에 따른 부품 교체 주기 연장 가능 |
| 키워드 |
반도체,불화물,세정부품,내플라즈마,세라믹 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
|
|
|
|
|
|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
기타 |
기술수명주기 |
|
| 연구수행주체 |
산 |
과학기술표준분류 |
인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 세라믹제조공정기술 |
| 주력산업분류 |
|
적용분야 |
제조업(비금속광물 및 금속제품) |
| 중점과학기술분류 |
|
과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
과제수행기관(업)명 |
(주)단단 |
사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
소속기관명 |
(주)단단 |
사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
150,000,000
|
지방비(현금+현물) |
0
|
| 비고 |
|
사업 정보
| 내역사업 |
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
과제 기본정보
| 과제명 |
반도체 세정 공정용 300 mm 급 불화물계 세라믹 소재 개발 |
| 과제고유번호 |
1425153205 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
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| 시행계획 내 사업유형 |
|
| 예산출처지역 |
대전광역시 |
| 사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2021 |
| 총연구기간 |
2019-11-06 ~
2021-11-05
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| 당해연도 연구기간 |
2021-01-01 ~
2021-11-05
|
요약 정보
| 연구목표 |
* 불화물계 소재의 가공성 평가: 물성 차이에 따른 가공성 확인 및 정밀 가공 조건 확립* 대형 시작품 제작용 몰드 설계: 세라믹 소재 특성을 반영한 몰드 설계* 300 mm급 불화물계 시작품 제작: 대형상 균일 소결체 제조 공정 기술 구축 |
| 연구내용 |
* 불화물계 소재의 가공성 평가 - 기계적 물성 차이에 따른 가공성 확인 - 복잡형상 가공을 위한 성형체/소결체 가공성 확인 - YxOyFz계 소재의 조성비에 따른 가공성 비교 - 고밀도 플라즈마 노출에 의한 식각률을 최소화하기 위해 표면조도 Ra 0.6 ㎛이하의 초정밀 가공 공정 조건 개발 * 대형 시작품 제작용 몰드 설계 - 세라믹 제품의 수축율을... |
| 기대효과 |
* 반도체 세정 제조 공정용 300 mm급 고밀도·고품질 불화물계 세라믹스 소재 기술 개발에 따른 세정 공정 부품 교체 가능* 오염입자 발생 최소화에 따른 반도체 불량률 저감, 공정 부품 수명 향상에 따른 부품 교체 주기 연장 가능 |
| 키워드 |
반도체,불화물,세정부품,내플라즈마,세라믹 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
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|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
| 산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
기타 |
| 기술수명주기 |
|
| 연구수행주체 |
산 |
| 과학기술표준분류 |
인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 세라믹제조공정기술 |
| 주력산업분류 |
|
| 적용분야 |
제조업(비금속광물 및 금속제품) |
| 중점과학기술분류 |
|
| 과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
| 과제수행기관(업)명 |
(주)단단 |
| 사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
| 소속기관명 |
(주)단단 |
| 사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
| 최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
150,000,000
|
| 지방비(현금+현물) |
0
|
| 비고 |
|