| 연구목표 |
○ 저온 화학 증착 공정용 챔버 모듈 설계 및 제작- 저온 공정 최적화를 위한 핵심 공정 인자 도출 - 저온 공정 특화형 챔버 모듈 설계 및 제작○ 저온 공정 특화용 챔버 모듈 실증 테스트 및 박막 특성 분석- 제작된 챔버 모듈 적용을 통한 최적 공정 조건 수립 및 생산성 분석 - 제작된 챔버 모듈을 이용해 제작한 박막의 물리적, 화학적 특성 분석 |
| 연구내용 |
○ 저온 화학 증착 공정용 챔버 모듈 설계 및 제작- 공정 온도 변화에 따른 ALD 화학 증착 실험 및 결과 분석- 공정 인자 (원료물질, 가스유량, 공정압력, 사이클 공정 단계별 시간 등) 변수 제어를 통한 저온 화학 증착 박막 분석 및 저온 화학 증착 공정 최적화를 위한 핵심 공정 인자 도출- 저온 특화형 챔버 모듈 설계 및 제작○ 저온 공정 특화용 챔... |
| 기대효과 |
- 저온 특화형 챔버 모듈은 양산 라인에 적용되면 저온 화학 증착의 생산성을 높이고, 생산비용을 절감시킬 수 있어 플렉시블 제작 핵심 기술로 활용될 수 있음.- 저온 화학 증착은 투명 유기물 플라스틱 기판소재인 Polyethylene, Polycarbonate 등의 소재에도 적용 가능하며, 이를 통해 투명 디스플레이 소자 제작에도 활용될 수 있음.- 고생산... |
| 키워드 |
저온공정,화학증착,챔버모듈,플렉시블디바이스,원자층증착법 |