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2024-05-21
내역사업 | 2021년도 창업성장기술개발사업 디딤돌 과제(기관추천) 제1차 추천기업 접수 |
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과제명 | 디스플레이 패널 제조 장비의 기능성 코팅용 세라믹 분말 소재 개발 및 사업화 | ||||
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과제고유번호 | 1425154862 | ||||
부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
시행계획 내 사업명 | |||||
시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-06-23 ~ 2022-06-22 | 당해연도 연구기간 | 2021-06-23 ~ 2022-06-22 |
연구목표 | 정량적 기술개발 목표- 개발 신소재 복합조성 구성(ea) : 3성분 이상 (XRD, XRF 평가)- Chucking Force(gf/cm2^) : 15이상 (수요기업평가)- 유전율(ε) : 3.5 이상 (기관 성적서)- 세라믹 코팅층 기공율(%) : 1이하 (기관 성적서)- 코팅층 인장강도(밀착력, MPa) : 20이상 (기관 성적서)- 세라믹 코팅층 절연... | ||
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연구내용 | 1. 디스플레이 ESC(정전척)용 코팅 소재개발- 3성분계 이상의 복합조성 신소재 개발(Al2O3-Y2O3-TiO2)- Ti free 고유전율 소재 개발(BaCe perovskite+α)- 상용소재 적용품 대비 내전압특성이 향상된 ESC 제조(3Kv 이상 향상)- 상용소재 적용품 대비 장기내구성( 킹력)이 향상된 ESC 제조(15gf/㎠이상)- 고밀도 코팅... | ||
기대효과 | 1. 활용계획 및 방안- 세계 최고 수준의 내전압특성을 나타내는 복합조성 코팅소재를 기 개발한 경험이 있으며, 이를 바탕으로 ESC와 Parts 부품에 적용할 신조성 코팅물로 직접 사용이 가능하며 개발물은 분말 형태이므로 직접 성형부품으로 가공할수 있는 활용성이 있음2. 기대효과- 개발 목표 소재는 Al2O3-Y2O3-α의 3성분 이상의 복합 조성으로 상용... | ||
키워드 | 반도체,디스플레이,플라즈마코팅,세라믹 분말 ,복합조성 |
단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 세라믹제조공정기술 |
주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(비금속광물 및 금속제품) | |
중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 씬택(CIN tech) | 사업자등록번호 | |
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연구책임자 | 소속기관명 | 씬택(CIN tech) | 사업자등록번호 | |
최종학위 | 석사 | 최종학력전공 | 공학 |
국비 | 120,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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비고 |