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디스플레이 패널 제조 장비의 기능성 코팅용 세라믹 분말 소재 개발 및 사업화

작성자

관리자

조회수

44

등록일

2024-05-21

사업 정보
내역사업 2021년도 창업성장기술개발사업 디딤돌 과제(기관추천) 제1차 추천기업 접수
과제 기본정보
과제명 디스플레이 패널 제조 장비의 기능성 코팅용 세라믹 분말 소재 개발 및 사업화
과제고유번호 1425154862
부처명 중소벤처기업부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2021 총연구기간 2021-06-23 ~ 2022-06-22 당해연도 연구기간 2021-06-23 ~ 2022-06-22
요약 정보
연구목표 정량적 기술개발 목표- 개발 신소재 복합조성 구성(ea) : 3성분 이상 (XRD, XRF 평가)- Chucking Force(gf/cm2^) : 15이상 (수요기업평가)- 유전율(ε) : 3.5 이상 (기관 성적서)- 세라믹 코팅층 기공율(%) : 1이하 (기관 성적서)- 코팅층 인장강도(밀착력, MPa) : 20이상 (기관 성적서)- 세라믹 코팅층 절연...
연구내용 1. 디스플레이 ESC(정전척)용 코팅 소재개발- 3성분계 이상의 복합조성 신소재 개발(Al2O3-Y2O3-TiO2)- Ti free 고유전율 소재 개발(BaCe perovskite+α)- 상용소재 적용품 대비 내전압특성이 향상된 ESC 제조(3Kv 이상 향상)- 상용소재 적용품 대비 장기내구성( 킹력)이 향상된 ESC 제조(15gf/㎠이상)- 고밀도 코팅...
기대효과 1. 활용계획 및 방안- 세계 최고 수준의 내전압특성을 나타내는 복합조성 코팅소재를 기 개발한 경험이 있으며, 이를 바탕으로 ESC와 Parts 부품에 적용할 신조성 코팅물로 직접 사용이 가능하며 개발물은 분말 형태이므로 직접 성형부품으로 가공할수 있는 활용성이 있음2. 기대효과- 개발 목표 소재는 Al2O3-Y2O3-α의 3성분 이상의 복합 조성으로 상용...
키워드 반도체,디스플레이,플라즈마코팅,세라믹 분말 ,복합조성
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 개발연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) 기타 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 세라믹제조공정기술
주력산업분류 적용분야 제조업(비금속광물 및 금속제품)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 씬택(CIN tech) 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 씬택(CIN tech) 사업자등록번호
최종학위 석사 최종학력전공 공학
사업비
국비 120,000,000 지방비(현금+현물) 0
비고