| 연구목표 |
Crack free 2inch AlN on Sapphire Template 개발 Crack-free 2inch AlGaN on AlN Template 개발 AlN and AlGaN Template 특성 평가 공정기술 개발 - 표면특성 분석방법 및 구조적 특성분석 방법 최적화 - 특성평가 공정 flow chart 도출 |
| 연구내용 |
엘앤디전자는 AlN에피박막 및 AlGaN/AlN 에피박막을 성장을 담당 - 엘앤디전가가 보유하고 있는 고온용 MOCVD장비와 공정 기술을 이용하여 AlN 에피박막 성장 - 엘앤디전가가 보유하고 있는 Normal MOCVD장비와 공정 기술을 이용하여 AlGaN 에피박막 성장 - 한국광기술원으로부터 각 박막의 평가결과를 피드백받아서, 성장기... |
| 기대효과 |
고품위 AlGaN on AlN Template 의 활용 분야 - 자외선 발광소자용 - 고전력, 고속의 고온구동을 위한 반도체소자용 - 센서,수광소자용 기존의 Normal MOCVD 장비를 이용하여 LED를 생산하는 업체에, 본 사업을 통해 개발되는 AlN 및 AlGaN template를 제공함으로서, 기존업체의 기술적 ... |
| 키워드 |
알루미늄갈륨나이트라이드,고온 금속유기증착장비,템플레이트,화합물질화반도체,고품질 4인치 |