과제 상세정보
목록반도체용 고속회전형 고진공 Turbo Molecular Pump 개발
작성자
관리자
조회수
68
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 반도체용 고속회전형 고진공 Turbo Molecular Pump 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425156602 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2019-11-06 ~ 2021-11-05 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-11-05 |
요약 정보
| 연구목표 | 1. Adaptive PID를 적용한 제어 컨트롤러 설계 및 제작 가) 펌프의 압력(고진공) 도달을 위한 제어기 설계 및 제작 2. Turbo Molecular Pump 설계 및 제작 가) 1차년도 개발품인 모터에 Turbo Molecular Pump를 맞춤제작 3. 컴퓨터 시뮬레이션을 통한 터보분자펌프 해석 검증 가) 최적 설계 검증을 위... | ||
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| 연구내용 | 1. Adaptive PID를 적용한 제어 컨트롤러 설계 및 제작 가) 펌프의 압력(고진공) 도달을 위한 제어기 설계 및 제작 2. Turbo Molecular Pump 설계 및 제작 가) 1차년도 개발품인 모터에 Turbo Molecular Pump를 맞춤제작 ① 그림8과 같은 설계 절차에 따라 터보펌프 설계 진행3. 컴퓨터 시뮬레이... | ||
| 기대효과 | 반도체 제조 공정의 고진공상태를 생성, 유지하기 위해 중요한 핵심 부품인 터보 진공펌프에 대해 정부의 지원을 받아 연구개발 완료 시, 수입 대체효과 및 가격 경쟁력 확보, 고용 확대에 기여할 수 있을 것으로 사료 됨. | ||
| 키워드 | 터보 분자 펌프,반도체 시험장비,진공 시스템,BLDC 모터,적응형 PID 제어 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 산업/일반기계 > 달리 분류되지 않는 산업/일반기계 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 코리아테스팅(주) | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 코리아테스팅(주) | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 150,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||