| 연구목표 |
□ 양산용 Pilot-Scale(10L급) 장비의 설계 및 제작 - 플라즈마 전원장치 설계 및 제작 - 플라즈마 전극 설계 및 제작 - 플라즈마 반응기 재질 및 형상 개선□ Ceria 나노입자 양산 Recipe 개발 및 공정 개선□ Ceria 나노입자 특성분석 및 평가 |
| 연구내용 |
□ 양산용 Pilot-Scale(10L급) 장비의 설계 및 제작 - 플라즈마 전원장치 설계 및 제작 · 전압 및 전류 발생 특성 파악 · TR(Transformer) 효율성 제고를 위한 설계 및 제작 · 노이즈로부터 전원을 보호하기 위한 변압기 설계 · 연속 작업시 전원공급 안정성 검증 - 플라즈마 전극 설계 및 제작 · 기존의 텅스텐 전... |
| 기대효과 |
1. 개발결과물의 주요 성과 □ 수중 플라즈마를 이용한 Ceria CMP 슬러리용 나노입자 □ CMP 적용 나노 분말 합성 및 분산 신기술 개발 □ 반도체 이외 촉매 및 다양한 분야의 나노 분말 제조 기술로 접목 2. 개발결과물의 활용분야 및 활용방안 □ 개발기술의 활용이 가장 많은 분야는 반도체 소재분야로 CMP 슬러리 공정에서 가장 많은 수요가 있을... |
| 키워드 |
세리아,나노입자제조장비,CMP공정,플라즈마,분산정제기술 |