반도체 제조공정 부품 제전을 위한 산업용 필라멘트리스 이온원 개발
사업 정보
| 내역사업 |
(9월) 팁스(TIPS) 창업기업 지원계획 통합공고 |
과제 기본정보
| 과제명 |
반도체 제조공정 부품 제전을 위한 산업용 필라멘트리스 이온원 개발 |
| 과제고유번호 |
1425157106 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
예산출처지역 |
대전광역시 |
사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2021 |
총연구기간 |
2021-10-01 ~
2023-09-30
|
당해연도 연구기간 |
2021-10-01 ~
2022-09-30
|
요약 정보
| 연구목표 |
기존 필라멘트 이온원을 이용하여 개발하여 성능이 확인된 이온주입을 이용한 반도체 공정부품의 제전 기술을 산업화하기 위하여 장시간 운영 및 조작성이 용이한 필라멘트리스 이온원 설계 및 제작하는 것이 1차년도 목표임 |
| 연구내용 |
- 필라멘트리스 이온원 사전조사- 필라멘트리스 이온원 설계/제작- 필라멘트리스 이온원 시험 (영구자석, RF 파워 최적화) 연구목표기존 필라멘트 이온원을 이용하여 개발하여 성능이 확인된 이온주입을 이용한 반도체 공정부품의 제전 기술을 산업화하기 위하여 장시간 운영 및 조작성이 용이한 필라멘트리스 이온원 설계 및 제작하는 것이 1차년도 목표임 |
| 기대효과 |
- 세계 반도체 제전부품 솔루션(이온주입장치, 이온빔조사서비스) 시장은 약 1조원 이상으로 추정되며 국내 시장은 약 650억 이상으로 예상됩니다. (세메스(주) 제공) 세메스(주) 반도체 공정부품 납품업체 확인결과 이온빔 공정단가 10만원/회당이면 사업성 높음 확인하였습니다. 초기 수요 기업인 삼성자회사인 세메스(주)를 시작으로 이온빔 활용한 제전부품이 ... |
| 키워드 |
반도체,제전 ,이온원,필라멘트리스,안정성 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
|
|
|
|
|
|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
NT(나노기술) |
기술수명주기 |
|
| 연구수행주체 |
산 |
과학기술표준분류 |
인공물 > 전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비 |
| 주력산업분류 |
|
적용분야 |
제조업(전기 및 기계장비) |
| 중점과학기술분류 |
|
과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
과제수행기관(업)명 |
(주)라드피온 |
사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
소속기관명 |
(주)라드피온 |
사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
최종학력전공 |
이학 |
사업비
| 국비 |
125,000,000
|
지방비(현금+현물) |
0
|
| 비고 |
|
사업 정보
| 내역사업 |
(9월) 팁스(TIPS) 창업기업 지원계획 통합공고 |
과제 기본정보
| 과제명 |
반도체 제조공정 부품 제전을 위한 산업용 필라멘트리스 이온원 개발 |
| 과제고유번호 |
1425157106 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
| 예산출처지역 |
대전광역시 |
| 사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2021 |
| 총연구기간 |
2021-10-01 ~
2023-09-30
|
| 당해연도 연구기간 |
2021-10-01 ~
2022-09-30
|
요약 정보
| 연구목표 |
기존 필라멘트 이온원을 이용하여 개발하여 성능이 확인된 이온주입을 이용한 반도체 공정부품의 제전 기술을 산업화하기 위하여 장시간 운영 및 조작성이 용이한 필라멘트리스 이온원 설계 및 제작하는 것이 1차년도 목표임 |
| 연구내용 |
- 필라멘트리스 이온원 사전조사- 필라멘트리스 이온원 설계/제작- 필라멘트리스 이온원 시험 (영구자석, RF 파워 최적화) 연구목표기존 필라멘트 이온원을 이용하여 개발하여 성능이 확인된 이온주입을 이용한 반도체 공정부품의 제전 기술을 산업화하기 위하여 장시간 운영 및 조작성이 용이한 필라멘트리스 이온원 설계 및 제작하는 것이 1차년도 목표임 |
| 기대효과 |
- 세계 반도체 제전부품 솔루션(이온주입장치, 이온빔조사서비스) 시장은 약 1조원 이상으로 추정되며 국내 시장은 약 650억 이상으로 예상됩니다. (세메스(주) 제공) 세메스(주) 반도체 공정부품 납품업체 확인결과 이온빔 공정단가 10만원/회당이면 사업성 높음 확인하였습니다. 초기 수요 기업인 삼성자회사인 세메스(주)를 시작으로 이온빔 활용한 제전부품이 ... |
| 키워드 |
반도체,제전 ,이온원,필라멘트리스,안정성 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
|
|
|
|
|
|
|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
| 산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
NT(나노기술) |
| 기술수명주기 |
|
| 연구수행주체 |
산 |
| 과학기술표준분류 |
인공물 > 전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비 |
| 주력산업분류 |
|
| 적용분야 |
제조업(전기 및 기계장비) |
| 중점과학기술분류 |
|
| 과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
| 과제수행기관(업)명 |
(주)라드피온 |
| 사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
| 소속기관명 |
(주)라드피온 |
| 사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
| 최종학력전공 |
이학 |
사업비
| 국비 |
125,000,000
|
| 지방비(현금+현물) |
0
|
| 비고 |
|