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MEMS 및 복합 금속산화물 반도체 기반 저전력 초소형 가스 센서 어레이 개발

작성자

관리자

조회수

45

등록일

2024-05-22

사업 정보
내역사업 국민위해인자에 대응한 기체분자식별·분석기술개발 사업
과제 기본정보
과제명 MEMS 및 복합 금속산화물 반도체 기반 저전력 초소형 가스 센서 어레이 개발
과제고유번호 1711127243
부처명 환경부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2021 총연구기간 2017-09-29 ~ 2024-06-28 당해연도 연구기간 2021-01-01 ~ 2021-12-31
요약 정보
연구목표 유해가스(화재?폭발) 및 화학테러가스를 실시간 모니터링하기 위한 반도체식 고감도, 초소형, 저전력 화학 센서 어레이 소자 개발고감도 감지를 위한 복합 금속 산화물 나노섬유 설계 및 제조 기술 개발MEMS 기반 고집적/고신뢰성 마이크로히터 어레이 플랫폼 설계 및 제조 기술 개발멀티노즐 EHD 프린팅 기술 기반 감지 나노 소재의 플랫폼 상 고속 집적 기술 개발...
연구내용 본 연구에서는 마이크로?나노 공정 기술을 활용하여 고성능 기능성 나노 감지 소재, 초저전력의 MEMS 마이크로 히터 플랫폼, 그리고 이를 결합하는 다종 물질 집적 기술을 개발하여 초소형 환경 센서 소자 및 시스템을 구현하는 것을 목표로 한다. 또한 다종의 나노 복합소재 기반 반도체 가스센서 어레이로부터 얻어진 유해가스, 화학테러가스에 대한 감지 신호를 누적...
기대효과 국민위해인자에 대한 조기 감지 및 경보: 고성능 환경 센서를 활용하여 인체에 해를 끼칠 수 있는 위해 다양한 요소를 높은 신뢰도로 감지하고 경보함으로써 국민 삶의 질을 향상.마이크로?나노 기술 기반 센서 제조 원천기술 확보: 마이크로?나노 전자 소자에 다양하게 활용될 수 있는 제조 원천기술을 확보하여 기술 경쟁력 강화.사물인터넷(Internet of Thi...
키워드 저전력 센서,초소형 센서,나노 복합 소재,마이크로 히터,나노소재 집적,가스 센서,머신러닝,유해 및 테러 가스
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 기초연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) NT(나노기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 기계 > 나노/마이크로기계시스템 > 나노마이크로센서
주력산업분류 적용분야 사회질서 및 안전
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 한국과학기술원 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 한국과학기술원 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 공학
사업비
국비 176,100,000 지방비(현금+현물) 0
비고