| 연구목표 |
유해가스(화재?폭발) 및 화학테러가스를 실시간 모니터링하기 위한 반도체식 고감도, 초소형, 저전력 화학 센서 어레이 소자 개발고감도 감지를 위한 복합 금속 산화물 나노섬유 설계 및 제조 기술 개발MEMS 기반 고집적/고신뢰성 마이크로히터 어레이 플랫폼 설계 및 제조 기술 개발멀티노즐 EHD 프린팅 기술 기반 감지 나노 소재의 플랫폼 상 고속 집적 기술 개발... |
| 연구내용 |
본 연구에서는 마이크로?나노 공정 기술을 활용하여 고성능 기능성 나노 감지 소재, 초저전력의 MEMS 마이크로 히터 플랫폼, 그리고 이를 결합하는 다종 물질 집적 기술을 개발하여 초소형 환경 센서 소자 및 시스템을 구현하는 것을 목표로 한다. 또한 다종의 나노 복합소재 기반 반도체 가스센서 어레이로부터 얻어진 유해가스, 화학테러가스에 대한 감지 신호를 누적... |
| 기대효과 |
국민위해인자에 대한 조기 감지 및 경보: 고성능 환경 센서를 활용하여 인체에 해를 끼칠 수 있는 위해 다양한 요소를 높은 신뢰도로 감지하고 경보함으로써 국민 삶의 질을 향상.마이크로?나노 기술 기반 센서 제조 원천기술 확보: 마이크로?나노 전자 소자에 다양하게 활용될 수 있는 제조 원천기술을 확보하여 기술 경쟁력 강화.사물인터넷(Internet of Thi... |
| 키워드 |
저전력 센서,초소형 센서,나노 복합 소재,마이크로 히터,나노소재 집적,가스 센서,머신러닝,유해 및 테러 가스 |