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마이크로 소자 내의 동역학을 실시간 측정하기 위한 광주파수빗 기반의 펄스비행시간 센서 개발

작성자

관리자

조회수

37

등록일

2024-05-22

사업 정보
내역사업 중견후속연구(연평균연구비 2억원~4억원 이내)
과제 기본정보
과제명 마이크로 소자 내의 동역학을 실시간 측정하기 위한 광주파수빗 기반의 펄스비행시간 센서 개발
과제고유번호 1711127572
부처명 과학기술정보통신부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2021 총연구기간 2021-03-01 ~ 2024-02-29 당해연도 연구기간 2021-03-01 ~ 2022-02-28
요약 정보
연구목표 이 연구는 마이크로 소자 내의 기계적 공진기(mechanical resonator)들의 선형 및 비선형 동역학을 실시간으로 관측하기 위한 광주파수빗(optical frequency comb) 기반의 펄스비행시간(time-of-flight, TOF) 센서를 개발하고, 이를 이용하여 새로운 현상들을 탐구하여 다양한 초정밀 광센서에 응용하는 것을 목표로 한다. ...
연구내용 광주파수빗 기반 TOF 측정기술의 병렬형 타이밍 측정 기능을 활용한 다지점 동시 변위 측정 기술을 확립하고, 광주파수빗과 라인-카메라(line camera)를 기반으로 한 TOF 측정을 활용하여 연속적인 1차원(cantilever, bridge) 및 2차원(membrane) 형태의 변위 및 공간적 변조를 실시간 고속 측정할 수 있는 기술을 개발하고자 한다....
기대효과 본 제안과제에서 추구하는 광주파수빗 기반의 TOF 측정기술은 나노미터 수준의 분해능과 밀리미터 수준의 측정범위를 MHz 이상의 고속 측정 조건에서 가질 수 있어, 기존의 동적 특성 측정 성능을 획기적으로 뛰어넘을 수 있다. 또한 한 지점에 대한 변위 측정 뿐 아니라, 1차원적인 선형 구조나 2차원적인 표면 전체에 대해 동시에 고해상도 변위 측정이 가능하여 ...
키워드 광주파수빗,펄스비행시간,마이크로 공진기,변형,비선형,동역학,마이크로파 광학
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 기초연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) IT(정보기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 전기/전자 > 광응용기기 > 광계측/제어기기
주력산업분류 적용분야 제조업(의료,정밀,광학기기및시계)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 한국과학기술원 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 한국과학기술원 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 공학
사업비
국비 291,686,000 지방비(현금+현물) 0
비고