| 연구목표 |
화학기상증착법을 이용한 질화물 박막의 증착과 얻고자 하는 재료의 물성을 조절하기 위한 공정기술 개발을 목표로 함 아직까지 질화물 관련 연구가 많이 부족한 상황에서 본 연구개발을 통해 새로운 태양전지 개발뿐만 아니라, 밝혀지지 않은 질화물에 대한 기초과학적 지식을 축적하는데 기여하고자 함 최종적으로 질화물 박막 기반의 태양전지 제조 및 고효율화 기술 구축을 ... |
| 연구내용 |
다원계 질화물 박막의 화학기상증착 및 원자층증착 공정 개발다성분계 질화물 박막의 CVD 공정 최적화 (공정온도, 박막의 순도, 균일도)다원계 질화물 광흡수층의 특성 최적화아연과 주석을 활용한 질화물의 실험적 입증을 통한 구조안정성 파악 및 특성 개선다원계 질화물 광전변환소자 제작 및 특성 분석질화물 박막 광흡수층 기반의 소면적 광전변환소자 제작 및 특성 분... |
| 기대효과 |
질화물 박막 증착을 위한 전구체 개발과 화학기상증착 공정기술 개발을 통해 고순도의 질화물 합성 원천기술을 확보하여 이를 통한 질화물 연구계의 새로운 가능성을 제시, 선구적 입지를 점하는 핵심적 역할 수행 가능 현재까지 질화물 소재에 대한 탐구 및 고찰이 매우 부족하기 때문에 재료의 구조, 물성의 이론적 계산과 실험적 구현 과정의 긴밀한 상호작용 체계 가이드... |
| 키워드 |
반도체 질화물,질화물 박막 태양전지,화학기상증착,유기금속화합물 전구체 |