| 연구목표 |
유연기판 위에 나노-마이크로 복합구조체를 제작할 수 있는 다자유도 선택적 레이저-나노임프린트 시스템 (LAS-NIL) 개발 및 질병 모니터링 소자 제작자유곡면 형상 유연기판의 나노/마이크로 구조체 제작 공정원천 기술개발질병진단을 위한 광학적 간섭신호 검출용 기능성 패턴 설계 및 제작질병 모니터링을 위한 플랫폼 개발 및 초소형 플랫폼 소자 집적화 기술 개발자... |
| 연구내용 |
유연기판 위에 나노-마이크로 복합구조체를 제작할 수 있는 LAS-NIL 자유곡면의 무잔류층 나노구조체 제작 공정 원천 기술 개발 나노-마이크로 복합구조체 제작을 위한 LAS-NIL prototype 1 개발LAS-NIL prototype 1 중 자세를 제어할 수 있는 3자유도 스테이지 개발자유 곡면 위 광학신호 검출 기능성 간섭패턴 제작 및 특성 신호 검... |
| 기대효과 |
본 연구를 통하여 개발될 자유곡면 상 나노공정 기술은 차세대 유연 필름 기판 및 인체 표면과 같은 탈평면 기판을 대상으로 기능성 나노소자를 직접 제작할 수 있어 유연 나노소자 및 다양한 생체 삽입·부착형 의료용 소자 분야 (예: 스텐트, 인공관절, 페이스 메이커 등)에 활용될 수 있음 |
| 키워드 |
자유곡면,나노마이크로구조체,나노패터닝 시스템,플라즈모닉 나노프로브,나노임프린트,레이저 복합 패터닝,생체친화소 |