과제 상세정보
목록실리콘 시스템반도체 전공정 지원 공정 체계 구축
작성자
관리자
조회수
47
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 나노팹 고도화(시스템반도체 연계지원 나노팹 고도화) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 실리콘 시스템반도체 전공정 지원 공정 체계 구축 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711130523 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2019-09-01 ~ 2022-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 180nm 및 130nm 이하급 기술을 이용한 시스템반도체 전공정 지원 플랫폼 구축 | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ㅇ 180nm 이하 Bulk CMOS FEOL 모듈공정 안정화 - Test Vehicle 용 TEG 설계 및 Mask 제작 - STI(Sallow Trench Isolation) & Well 모듈 최적화 - Gate(Dual Gox, Poly-Si) 모듈 최적화 - LDD & SD Junction 모듈 최적화 - Silicide(Co Sa... | ||
| 기대효과 | ㅇ 산ㆍ학ㆍ연 R&D 수요 피드백에 기초한 개방형 MPW 서비스를 제공하여 차세대 팹리스-파운드리 간 유연 기술협력 모델 구축ㅇ 표준공정에 국한된 상용 파운드리 서비스와 달리, 미래수요 형 특화 소재/소자/공정기반의 기술 라이브러리를 제시하여 수요기업의 조기 기술사업화를 위한 테스트베드로서의 역할 수행ㅇ 플랫폼기술 라이브러리와 체계화된 공정설계키트(PDK... | ||
| 키워드 | 파운드리,상보형금속산화반도체,반도체 설계,반도체 공정,실리콘반도체,시스템반도체,전공정,프로세스 디자인 키트 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | BT(생명공학기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 건강 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 800,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||