과제 상세정보
목록2.5 kV급 고효율 초소형 산화갈륨 전력반도체 소자 기술 개발
작성자
관리자
조회수
165
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 국가핵심소재연구단(플랫폼형) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 2.5 kV급 고효율 초소형 산화갈륨 전력반도체 소자 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711130973 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2020-05-15 ~ 2024-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-15 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | ○ 1.0 kV급 SBD/MOSFET 전력반도체 소자 및 핵심 단위공정 개발① 소구경 산화갈륨 소자용 유전체 핵심 단위공정 기술 개발◾ 미세패턴 식각 선폭 (LCD) ≤ 1.0 ㎛◾ 산화막 누설전류(Ileak.) ≤ 5 ㎂/cm2② 소구경 산화갈륨 소자용 저저항 핵심 단위공정 기술 개발◾ 고온열처리 금속패턴 선폭 변화 (ΔLCD) ≤ 4.0 ㎛◾ 오믹 접촉... | ||
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| 연구내용 | ① 소구경 산화갈륨 소자용 핵심 단위공정 기술 개발◾ ICP RIE 기반 1.0 ㎛ 패턴 형성을 위한 산화갈륨 건식 식각 공정기술 개발◾ ALD 기반 5 ㎂/cm2 이하급 Al2O3 산화막 누설전류 저감 공정 기술 개발② 소구경 산화갈륨 소자용 저저항 핵심 단위공정 기술 개발◾ RTA 기반 ΔLCD ≤ 4.0 ㎛ 이하의 금속패턴 고온열처리 공정기술 개발◾ ... | ||
| 기대효과 | ○ 4차산업혁명 인프라, 전기/자율/수소자동차, 태양광/풍력/신재생에너지,국방/우주항공등 미래 고효율 초소형 전력변환모듈과 인버터/컨버터에 활용 예정- (기술적효과) 전력반도체 소자 및 전력변환모듈 국산화에 따른 선진기술 종속 탈피- (사회적효과) 에너지절감 미래사회를 위한 고효율 전력반도체 국산화 인프라 구축- (경제적효과)'27년 640억불 규모의 전력... | ||
| 키워드 | 산화갈륨,전력반도체,쇼트키다이오드,금속산화물전계효과트랜지스터,항복전압,온-저항,누설전류,표준소자 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > 화합물소자 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국전자통신연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국전자통신연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 765,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||