과제 상세정보
목록원자층증착법 기반 초미세 산화물반도체 TFT 핵심소재 및 단위소자 공정 기술 개발
작성자
관리자
조회수
41
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 국가핵심소재연구단(플랫폼형) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 원자층증착법 기반 초미세 산화물반도체 TFT 핵심소재 및 단위소자 공정 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711131037 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2020-05-15 ~ 2024-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-15 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 비IGZO계 신규 산화물 반도체 소재의 원자층증착법 기반의 초미세 산화물반도체 TFT 핵심소재 및 단위소자 공정 기술 개발을 통하여 산화물 반도체의 대면적화 ALD소재/공정 최적화와 초단채널 수직형 TFT 소자 기술 최적화를 진행하여 초고해상도 디스플레이 백플레인 실증을 위한 소재/공정 기술을 개발함. | ||
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| 연구내용 | 1단계(2020-2022) 초고해상도/초유연 TFT 단위소자 구조/공정 개발 - 산화물 반도체 소재 평가를 위한 초고해상도 TFT 구조 및 공정 개발 - 신규 전구체/증착 기법을 적용한 원자층증착법(ALD) 기반의 비IGZO계 산화물 반도체 증착 공정 기술 및 고이동도 물성제어 기술 개발 - 비IGZO계 산화물 반도체 초고해상도 수직채널 TFT 단위소자 공... | ||
| 기대효과 | 본 세부과제를 통해 검증되는 비IGZO계 신규 산화물 반도체 소재는 일본에 의해 특허가 점유되어 있는 IGZO계 소재의 대외의존성을 극복하고 초고해상도 및 신축성 디스플레이 백플레인의 핵심 소재로 활용될 것임비IGZO계 산화물 반도체 소재, 패터너블 투명 유연 기판 소재 및 관련 공정을 TFT 백플레인 일괄공정을 내재화함으로써 신뢰성을 확보함에 따라 소재 ... | ||
| 키워드 | 산화물반도체,디스플레이,백플레인,초고해상도,비 IGZO계,원자층 증착,수직채널,초미세 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 응용연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 디스플레이 > 디스플레이 소재/부품 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)엔씨디 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)엔씨디 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 294,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||