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2차원 metal chalcogenides 기반 초고이동도 소자 및 모노리식 3차원 집적

작성자

관리자

조회수

85

등록일

2024-05-22

사업 정보
내역사업 신소자원천기술개발
과제 기본정보
과제명 2차원 metal chalcogenides 기반 초고이동도 소자 및 모노리식 3차원 집적
과제고유번호 1711132179
부처명 과학기술정보통신부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2021 총연구기간 2020-07-01 ~ 2023-02-28 당해연도 연구기간 2021-01-01 ~ 2021-12-31
요약 정보
연구목표 Bi2O2Se, MoS2 등 최근 각광 받고 있는 2차원 metal chalcogenides 기반으로 반도체 범용공정을 활용해 300도 이하 저온 대면적 성장공정, 이종접합 공정 개발한다. Bi2O2Se는 300도의 저온 공정이 가능하고 저온에서도 결정화가 잘되어 수백 cm2/VS 이상의 전기 이동도가 기대된다. MoS2 는 비정질 표면 위에 박막화 및 두...
연구내용 2차원 metal chalcogenides (i.e. Bi2O2Se, MoS2) 저온 대면적 성장 공정 개발metal chalcogenides (i.e. Bi2O2Se, MoS2) 도핑 공정 개발 및 도핑 레벨 분석Ge/metal chalcogenides 이종 접합 구현 (결정성 향상, 선택 성장, 원자 단위 분석)metal chalcogenides 기반 ...
기대효과 2차원 반도체 소재 기반 CMOS 소자 및 Si-CMOS와의 이종접합을 이용한 monolithic 3D 소자는 로직, 메모리, 광전자, 뉴로모픽, 인-메모리 소자로 활용할 수 있음. 광전자 소자중 흔히 활용되는 이미지 센서의 경우 인체에서 발생하는 신호를 이용해 질병을 진단하거나 피부의 상태를 측정하는 헬스케어 분야, 자율주행과 같이 사물과의 통신을 이용하...
키워드 전이금속 칼코겐,전이금속 산소 칼코겐,CMOS,모노리식 3차원 집적,이종 집적,원자 단위 분석,도핑,저온 공
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 기초연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) IT(정보기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > 달리 분류되지 않는 반도체소자·회로
주력산업분류 적용분야 기타 공공목적
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 한국과학기술원 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 한국과학기술원 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 공학
사업비
국비 436,000,000 지방비(현금+현물) 0
비고