과제 상세정보
목록비맥스웰 전자속도분포의 제어와 저온 플라즈마 거동에 미치는 영향 연구
작성자
관리자
조회수
44
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | (유형1-2)중견연구 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 비맥스웰 전자속도분포의 제어와 저온 플라즈마 거동에 미치는 영향 연구 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711132290 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-03-01 ~ 2026-02-28 | 당해연도 연구기간 | 2021-03-01 ~ 2022-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | 원통형(길이:2m, 지름:0.6m) 진공챔버 내에서 생성된 저충돌 저온 플라즈마의 비맥스웰 전자속도분포에 관한 포괄적인 이해를 증진하기 위해 전자 표류운동을 유도하여 전자속도분포의 왜도(skewness: 3rd moment)와 첨도(kurtosis: 4th moment)를 측정, 제어 및 해석할 수 있는 기술을 개발하고, 이를 기반으로 비맥스웰 전자가 플라... | ||
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| 연구내용 | 비맥스웰 전자속도분포의 왜도와 첨도 제어 및 측정 기술 확보와 물리연구 수행 기반 구축을 목표로 다음의 연구내용을 수행한다.[측정기법 1차년도] (1) 기존의 랑뮤어프로브 해석 기법을 확장하여 왜도와 첨도를 포함한 비맥스웰 전자에 적용 가능한 데이터 해석 기법 기반 확보, (2) 타진단계(톰슨산란, 충돌방사모델 기반 광방출분광법)와의 교차 검증 기반 확보[... | ||
| 기대효과 | [기술적 기대효과] 전자 속도분포 측정 및 제어 기술을 활용한 플라즈마 응용 분야의 새로운 도약 견인: (1) 차세대 반도체 공정기술로 인지되는 전자를 이용한 원자층 식각 기술에 전자 속도분포 측정·제어 기술의 높은 활용도가 기대된다. (2) 인공위성, 우주탐사선 등에 탑재된 홀 추력기의 성능을 저해하는 요인인 여러 플라즈마 불안정성은 전자 속도분포와 밀접... | ||
| 키워드 | 저온플라즈마,비맥스웰리안,전자속도분포,왜도,첨도,grad-B 표류운동,curvature 표류운동,제어 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 자연 > 물리학 > 유체·플라즈마물리 > 플라즈마 물리 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 지식의 진보(비목적연구) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 207,735,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||