과제 상세정보
목록산화갈륨 에피층 및 도핑층의 구조분석 및 원자단위 분석 기술 개발
작성자
관리자
조회수
50
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 국가핵심소재연구단(플랫폼형) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 산화갈륨 에피층 및 도핑층의 구조분석 및 원자단위 분석 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711132762 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2020-05-15 ~ 2024-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-15 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 산화갈륨 에피층과 채널 도핑층의 구조분석 및 이동도 향상을 위한 원자단위 구조분석 기술 개발을 수행하여 다음의 목표를 달성하는 것을 최종의 목표로 하며, 1차년도 목표는 상용 산화갈륨 기판의 구조 결함 양상 파악, 표준화된 평가법 도출임. | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ○ 상용 산화갈륨 기판의 구조 결함 양상 파악 및 해석:- (-201) 면 산화갈륨에서 관찰되는 쌍정결함에 대한 디테일한 분석과 내부 결함에 대해 해석함. ○ 산화갈륨 에서의 에치핏 형성 및 원인해석:- (001) 면 산화갈륨에서 에칭법에 의한 에치핏의 형성.- 에치핏의 형상과 방향성 분석- 총알모양 에치핏의 근원이 전위결함에 기인한 것임을 규명함. ○ 고... | ||
| 기대효과 | ○ 전력반도체 소자 제작을 위한 산화갈륨 기판 소재의 구조결함 평가 및 공급되는 기판의 품질을 평가 할 수 있는 평가법을 제공하여 활용. ○ 전력반도체 소자응용을 위한 산화갈륨 단결정 개발에 있어 단결정의 결정품질을 평가할 수 있는 방법을 제시하여 활용.○ 전력반도체 소자 제작을 위한 산화갈륨 에피 소재의 구조결함 평가법을 제공하여 활용. ○ 산화갈륨 기반... | ||
| 키워드 | 산화갈륨,구조결함,투과전자현미경,에피층,도핑층,원자레벨,채널층,캐리어분포 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 분석/물성평가기술 > 재료구조/조직 분석기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 에너지 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 충남대학 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 충남대학 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 95,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||