| 연구목표 |
내플라즈마 소재평가 정량화 기술개발 - 세부주관기관 1) 오염입자 저감 성능평가 정량화 기술개발 ? in-situ 오염입자 측정장치 개발 및 ex-situ 비교분석 2) 고출력 플라즈마 환경 식각 특성 평가법 개발 ? 고밀도환경: 플라즈마 밀도 ~1×1012 cm-3 ? 고에너지환경: 바이어스 Vpp 2 kV ? 플라즈마/방전변수 실시간 모니터링 ... |
| 연구내용 |
가. 1단계: 세라믹 소재 기인 오염입자 정량화 및 플라즈마 내구성 평가 기술개발 ? 오염입자 저감 성능 정량적 평가방법 개발 및 검증 - 레이저 기반 오염입자 정량/실시간 평가 방법 개발 (F/Cl계 플라즈마 환경) - 50 nm ? 1 um 크기의 CRM급 나노입자에 대한 레이저 측정 결과와 ex-situ 전자현미경 분석법과 비교 평가 (오... |
| 기대효과 |
- 내플라즈마 특성 및 오염입자 정량화 평가 기술개발을 통한 국내 소재·부품 특성평가 테스트베드 구축 및 표준화 기반 기술 구축 - 차세대 고종횡비 공정을 위한 고밀도?고에너지 공정 대응 소재 평가시스템 구축 - F계 평가시스템 세분화 및 Cl계 대응 소재 평가시스템 선재 구축을 통한 국내 소재·부품·장비 국산화 기여 |
| 키워드 |
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