과제 상세정보
목록서브-피코초 시간분해능을 갖는 초정밀 비파괴 박막 물성 평가기술 개발
작성자
관리자
조회수
39
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | (유형1-2)중견연구 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 서브-피코초 시간분해능을 갖는 초정밀 비파괴 박막 물성 평가기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711133596 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-03-01 ~ 2024-02-29 | 당해연도 연구기간 | 2021-03-01 ~ 2022-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | 본 연구는 서브-피코초 수준의 시간분해능을 갖는 비파괴 평가법을 개발하여 100 nm 미만의 두께를 갖는 박막의 열/기계적 물성을 측정하는 것을 목표로 한다. 펨토초 펄스 레이저를 기반으로 하는 광학 실험장치를 만들고, 열탄성 거동에 따라 박막매질 내에서 전파하는 기가헤르츠 대역의 초음파를 검출·분석함으로써 탄성계수, 잔류응력 등의 기계적 물성과 열확산도,... | ||
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| 연구내용 | 1차년도(2021.03 – 2022.02): 펨토초 레이저 광학계 셋업 - 펨토초 레이저 광학계 실험장치 구축 - 데이터 측정수집 자동화 프로그래밍 - 박막 시험시편 제작2차년도(2022.03 – 2023.02): 열물성 측정기법 확립 - 다층박막 열전도 이론해 도출 및 수치해석 코드 작성 - 열확산도 및 열경계저항 측정 - 레이저 섬광법, 3ω... | ||
| 기대효과 | - 초박막 물성 평가를 위한 비파괴 검사기술 발전- 극초단 시공간 스케일에서의 박막특성에 관한 심층 연구- 해외 우수 연구기관과의 기술격차 해소 및 국내 과학기술 발전- 원천기술 국산화 및 산업계 현안 해결- 물성 데이터베이스 구축 및 기술 컨설팅을 통한 산학협력 추진으로 ICT 제조산업 혁신- 융복합적 학문 지식을 갖춘 인력 교육양성- 국내외 기계·전자 ... | ||
| 키워드 | 박막,열물성,기계적 물성,펨토초 레이저,비파괴평가 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 신뢰성/비파괴평가 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 충남대학 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 충남대학 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 402,538,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||