과제 상세정보
목록CMOS 회로 기반의 신소자 모놀리식 집적공정 개발
작성자
관리자
조회수
77
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 신소자집적·검증기술 |
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과제 기본정보
| 과제명 | CMOS 회로 기반의 신소자 모놀리식 집적공정 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711133753 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | □ 8” CMOS 회로 기반 신소자 모놀리식 집적공정 개발○ 원자스위치 및 인공 시냅스 소자 등 신소자 특화 집적공정 기술 확보- 2가지 이상의 신소자 구현이 가능한 집적공정 플랫폼 구축□ 신소자 집적/검증 공용플랫폼 활용성 증대를 위한 관리방안 제시○ 신소자 기술 2건 이상, 각 소자기술 당 3-Lot 이상의 공정 검증 실시 - 플랫폼 공정 검증 웨이퍼 ... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | □ 국내 파운드리 산업체와 나노인프라 FAB 간 공정 호환성 확보○ CMOS 회로기반의 전공정과 신소자 특화된 후공정 간의 FAB 매칭을 위한Lithography 장비 호환성 확보○ 전공정 Process Monitoring 정보를 반영한 후공정 집적공정 최적화 ○ 전공정 웨이퍼 최상위 금속 상의 Hard Mask 선택적 제거기술 구현□ 8” CMOS 회로 ... | ||
| 기대효과 | □ 나노인프라 기반의 신소자 집적/검증 공용플랫폼 활용성 증대○ 8” 기반 신소자 집적/검증 공정플랫폼 구축 및 산·학·연 활용 지원 □ 저전력 동작 가능한 BEOL 신소자 특화 플랫폼기술 활용서비스○ 원자스위치 및 인공 시냅스 소자 등 최신 신소자 제조기술 제공 | ||
| 키워드 | 반도체 신소자,집적화플랫폼,모놀리식 소자집적,BEOL 소자집적,Via 집적형 소자,뉴로모픽 응용소자 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > Si 소자 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 학사이하 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 380,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||