| 연구목표 |
3차원 자기조립 마이크로-나노구조체 제어공정 응용기술개발” 해외우수연구자 초청과제를 통하여 2D 맥신 등 나노소재의 나노-마이크로 복합구조와 자기조립에 의한 마이크로 구조제어기술의 융합기술을 개발하고 광학적 응용기술 개발을 통하여 자기조립 마이크로-나노구조체의 크기 및 형상 제어와 광흡수율의 측정 및 광센서로서의 적용가능성을 확인한다. |
| 연구내용 |
1. 마이크로 크기의 자가조립공정 기술 이전 및 3차원 소자 구현- 마이크로 크기의 자가 조립공정을 위한 마스크 설계 - 마이크로 크기의 자가 조립공정 구현- 웨이퍼에 자가 조립을 위해 2차원 물질 패턴 구현 - 2차원 나노물질로 이루어진 3차원 마이크로 소자 구현2. 3차원 소자의 물리적 (광학적) 특성 분석- 시뮬레이션을 이용한 나노소재로 이루어진 3... |
| 기대효과 |
3차원 자기조립 마이크로-나노구조체 제어공정 기술개발을 통하여 국가나노팹에서 wafer level 공정기술을 통한 고효율·초정밀 마이크로 생산기술과 초고집적 반도체공정 및 장비·소재기술을 적용하는 ICT 센서분야 응용 등 신소재 응용기술의 개발이 가능할 것이다. 또한 첨단소재 분야의 원천기술은 지능형 소프트로봇과 약물전달 기술등의 신약개발의 응용분야 적용가... |
| 키워드 |
자기조립,2차원 소재,3차원 구조,마이크로 가공,나노가공,나노소재,소자응용 |