| 연구목표 |
맥신(MXene) 나노소재의 산화안정성 기술확보를 통한 고신뢰성 맥신소재 개발과 대면적 패터닝공정 및 고성능 센서소자응용 기초-원천기술 개발을 목표로 한다. 산화안정성 향상을 위하여 맥신 나노소재의 합성 메카니즘을 이해하고, 박막 기반의 건식법에 의한 맥스(MAX), 맥신, Nanoporous 맥신을 합성하며, 산화안정성 향상된 박막형 맥신의 고성능 물성을... |
| 연구내용 |
맥신소재의 우수물성을 유지하는 산화안정성 향상 박막공정 기술을 개발하고, 대면적 wafer level 마이크로-나노 패터닝 공정과 연계하여 고성능 맥신 소자 응용기술을 개발하고자 한다. 1. 산화안정성 향상을 위한 박막 건식공정 기술개발 - 맥신(&맥스) 건식/Green 합성 박막공정 - 산화안정성 향상을 위한 맥신 합성기구 연구 - MXene-M... |
| 기대효과 |
박막기반 맥신소재의 산화안정성 향상 및 IoT 센서 응용소자 기술개발을 통하여 개발되는 소재원천기술 및 응용기술로는 새로운 개념의 맥신소재 개발, 맥신 박막공정기반 소재합성 및 소자화 기술의 확보, 센서소자 응용 원천기술 확보, 세계최초의 IR 영역 광흡수 광전소자 기술 확보 및 적외선 영상센서 원천기술 확보 등이 기대되며 그 활용분야는 - 맥신 박막소... |
| 키워드 |
박막,산화안정화,광센서,가스센서,액츄에이터,패터닝,2차원 맥신,대면적 공정 |