| 연구목표 |
본 연구과제는 단결정 CaF2 소재를 이용한 반도체 웨이퍼 미세패턴 결함 검사장비용 고분해능 자외선 렌즈 모듈을 개발하는 것을 목표로 한다. 이를 위해 파장 193 nm의 자외선 영역에서 집광능력이 높은 개구수(NA) 0.8 이상의 광학설계를 기반으로, 투과파면오차 및 광산란 최소화를 위한 고품위 가공 및 측정방법 개발, 그리고 나노미터급의 초정밀 렌즈 정... |
| 연구내용 |
○ 고분해능 자외선 렌즈 광학/광기계 설계 기술개발 - 파장 193 nm 고분해능 자외선 렌즈 광학설계 (1단계 ≥NA0.8, 2단계 ≥NA0.9) - 경량 비열화 렌즈마운트 최적설계 - 환경변화에 따른 응력 해석을 통한 파면왜곡 최소화 설계기술 개발○ 초정밀 렌즈 가공 원천기술 개발 - 고품질 광학형상가공 및 표면거칠기 구현을 위한 연마공정 원천기술 개발... |
| 기대효과 |
○ 19년 수입액 713백만불인 반도체 검사장비용 핵심부품인 자외선렌즈를 국산화함으로써, 국내 반도체 검사장비 업체의 시장경쟁력 강화와 이를 통한 수출 기대.○ 고분해능 렌즈 설계 및 초정밀 측정·가공·정렬 기술 내재화 및 산업생태계 강화○ 반도체 및 디스플레이 공정용 자외선렌즈 제작 인프라 구축 - 차세대 EUV 반도체 공정용 극자외선 광부품 제작 기초기... |
| 키워드 |
자외선 렌즈,광학설계,비구면 렌즈,반도체 웨이퍼 검사,광학 측정,레이저 간섭계,초정밀 가공,파면오차 |