| 연구목표 |
본 세부 과제는 공기-비평면 CaF2 계면에서 발생하는 193 nm 자외선 반사를 억제하는 반사방지 코팅기술을 개발하고, 이를 개별 CaF2 자외선 렌즈에 적용하여 다수의 렌즈로 이루어진 CaF2 자외선 렌즈 시스템의 전반적인 투과율과 해상도를 개선한다. 불화물 계열의 다층박막 및 나노구조를 이용하여 전방향 입사각에 대해 반사방지 특성을 유지하는 자외선 렌... |
| 연구내용 |
1단계: 자외선 렌즈용 반사방지 코팅 소재·공정·설계 원천기술 개발1) 반사방지 코팅 소재·구조 설계 및 기하-파동광학 통합 시뮬레이션 기법 개발- 자외선 흡수가 없고, 화학적으로 안정한 자외선 영역 저굴절률 투명 소재 탐색 및 전방향 반사방지 구조 설계 - 반사방지 구조 코팅 렌즈의 성능 예측 위한 기하-파동광학 통합 시뮬레이션 개발 2) 반사방지 코팅... |
| 기대효과 |
1) 자외선 반사방지 코팅 기술 반도체 검사기 적용 및 일반 광학계 확대 적용193 nm 자외선 반도체 패턴 결함 검사기 및 노광 장비 성능 고도화CaF2 렌즈 결합 특수 카메라 개발 · 고효율 극자외선 살균기, 고해상도 중적외선 열화상 카메라산란 억제 나노구조 기반 반사방지 코팅 기술 광전자기기 응용 · 태양전지 광흡수효율, Lidar 센서 커버 투명... |
| 키워드 |
자외선 광학,193 nm,반사방지 코팅,굴절률 제어,연속변화 굴절률,비평면 증착,금속 불소화합물,다층박막 |