| 연구목표 |
o 바이오 응용 랩웨어를 기반으로 고기능성 나노구조체 제작을 위한 i-Cluster 시스템 및 패터닝 공정 기술을 개발함- 레이저 응용 선택적 나노임프린트 리소그래피 (LAS-NIL) 패터닝 유닛 개발- 형상 적응형 나노스탬프 제조 및 모듈화 기술 개발- 고균일성 유기 박막 코팅용 iCVD 유닛 개발- i-Cluster 시스템 통합화 및 바이오 응용 기판 ... |
| 연구내용 |
1. 레이저 응용 선택적 나노임프린트 리소그래피 (LAS-NIL) 패터닝 유닛 개발- LAS-NIL 패터닝 유닛을 위한 핵심 요소 기술 개발- LAS-NIL 패터닝 유닛의 제작 및 성능 평가 - LAS-NIL 패터닝 유닛 공정 최적화를 통한 장치 성능 개선2. 형상 적응형 나노스탬프 기반 모듈화 기술 및 비평면 기판 대상 패터닝 공정 개발- iCVD 코팅 ... |
| 기대효과 |
o 본 연구개발을 통해 얻어지는 i-Cluster 시스템 및 공정 기술은 기존의 바이오 응용 분야 뿐 아니라 새로운 개념의 분자진단에 적용 가능함o 본 연구개발을 통해 확보되는 고기능성 나노패턴 제조 기술은 바이오 진단을 위한 핵심소재 생산 기술뿐만 아니라 다양한 분야에도 활용이 가능함o 본 연구개발을 통해 얻어지는 공정 기술은 비평면 기판에 대한 Dama... |
| 키워드 |
레이저 리소그래피,나노임프린트 리소그래피,개시제 기반 화학적 기상 증착,코팅,기능성 나노구조체,마이크로튜브, |