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CMOS 공정접합성이 뛰어난 저온 상경계영역의 고성능 압전/초전 박막 소재 및 i-CVD 기반 기공제어 유전체와 M3D 플랫폼을 활용한 신개념의 뉴로모픽 시공간적 촉각 센서 /피드백 시스템

작성자

관리자

조회수

50

등록일

2024-05-22

사업 정보
내역사업 (유형1-2)중견연구
과제 기본정보
과제명 CMOS 공정접합성이 뛰어난 저온 상경계영역의 고성능 압전/초전 박막 소재 및 i-CVD 기반 기공제어 유전체와 M3D 플랫폼을 활용한 신개념의 뉴로모픽 시공간적 촉각 센서 /피드백 시스템
과제고유번호 1711139961
부처명 과학기술정보통신부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2021 총연구기간 2021-09-01 ~ 2026-02-28 당해연도 연구기간 2021-09-01 ~ 2022-02-28
요약 정보
연구목표 [소재/공정] 저온(~300℃) 반도체공정 기반의 상경계(MPB)조성의 압전 소재/공정 기술 개발1. [하프니아 강유전체 계열 MPB 영역의 박막 소재/공정 기술]- 압전(압력에 반응)·초전(열에 반응)성을 겸비한 압전/초전 특성이 가장 뛰어난 상경계 (MPB) 영역의 소재 탐색 및 박막 공정 개발[공정] 저온(~300℃) 반도체공정 기반의 압전 소재 결정...
연구내용 [소재/공정] 저온(~300℃) 반도체공정 기반의 상경계(MPB)영역의 압전/초전 소재 및 공정 기술 개발- 압전(압력에 반응)·초전(열에 반응)성을 겸비한 강유전체의 압전/초전성이 가장 높은 영역인 상경계(Tetragonal / Orthorhombic phase 경계면, MPB) 영역의 소재 탐색 및 박막 형성 [공정] 전자기파 유도가열 기반 저온 열처리...
기대효과 과학기술적 측면 기대효과- 촉각(햅틱) 센서 기술은 기존의 물리·화학적 자극을 감지하는 단일모드 센서에서 진보된 기술로서 단순히 입력신호를 감지하는 소자가 아닌 인간과 기계간의 양방향 소통을 보다 원활하게 하기 위해 전자장치에 디지털 촉감을 부여하는 것으로 가상현실(메타버스)·헬스케어·로보틱스·디스플레이 등 산업계의 다양한 분야에 기술적 돌파구를 제시할 수...
키워드 시공간적 촉각 인지/피드백 시스템,뉴로모픽 ,수직적층집적,상경계 압전소재,마이크로파유도가열,유무기 하이브리드
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 기초연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) IT(정보기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > Sensor용 소자
주력산업분류 적용분야 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 한국과학기술원 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 한국과학기술원 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 공학
사업비
국비 93,222,000 지방비(현금+현물) 0
비고