과제 상세정보
목록CMOS 공정 기반 초소형 저전력 MEMS 호기센서 플랫폼 개발
작성자
관리자
조회수
56
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 공백품목 |
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과제 기본정보
| 과제명 | CMOS 공정 기반 초소형 저전력 MEMS 호기센서 플랫폼 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711141384 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-07-26 ~ 2025-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-07-26 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 이종 나노구조체 기반 소형 고성능 호기센서 핵심기술 개발을 목표로 나노/MEMS/기계학습 등의 신기술 도입을 통한 제품의 고성능화/소형화/저가격화를 지향하고, 센서의 소형화/저전력화/저가격화를 위해 CMOS 공정 기반 초소형 저소모전력특성의 고신뢰성 MEMS 히터 기술을 개발하고 감지소재 증착을 통한 센서 검증을 통한 고성능 고신뢰성 호기센서 개발을 목표로... | ||
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| 연구내용 | 초소형 저소모전력특성의 고신뢰성 MEMS 히터 설계 기술 개발MEMS 히터 및 어레이의 사양 도출낮은 스트레스를 가진 다층막 멤브레인 구조 설계 증착법을 고려한 히터 및 감지전극의 패턴과 크기 최적화 (단일, 어레이)Thermal shield 등을 적용한 히팅 온도 균일성 확보CMOS 공정 기반 MEMS 히터 제작 및 감지소재 증착 공정 기술 개발6인치 실... | ||
| 기대효과 | 초소형 저소모전력특성의 호기센서 MEMS 플랫폼에 고감도 고선택성 이종 나노구조체 감지소재를 적용하여 고성능 고신뢰성 휴대용 날숨 진단 플랫폼의 기술 확보 및 해외에 의존하고 있는 진단 플랫폼 핵심 기술 국산화본 MEMS 플랫폼 개발은 다양한 소자나 시스템에 적용할 수 있어, 앞으로 다가올 4차산업혁명 시대의 신 시장을 선도 할 핵심 기술 확보 가능해외 기... | ||
| 키워드 | 멤스,히터,초소형,저소모전력형,신뢰성,호기센서,멤브레인,균일성 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 광/전자세라믹스 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 건강 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국전자통신연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국전자통신연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 150,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||