| 연구목표 |
[최종 연구 목표] Ge-on -in sulator (GOI)구조를 이용한 초소형 가스 센싱 플랫폼 개발하여 ~10ppm 급 CO2 sen sor 제작을 위한 feasibility를 증명함.● 세부목표1: 가스 센싱용 Ge slot w aveguid e 광학 설계- Slot w aveguid e 구조는 GOI에서의 Ge과 buried oxid e(BOX)와... |
| 연구내용 |
(1) 1차년도~2차년도 상반기● 연구 목표- 가스 센서용 Ge w aveguid e platform 광설계 (slot w aveguid e 및 Bragg gratin g기반 opticalcavity)- Ge-on -in sulator (GOI) 제작 기술 개발- GOI slot w aveguid e 제작 기술 개발 및 측정● 연구 내용-가스 센서용 Ge ... |
| 기대효과 |
● [기술적] 본 연구를 통해 가스 센싱을 위한 반도체 기반 광센서 기술 선도 및 원천기술 확보가 가능하여 향후 광원/디텍터 집적 연구로 확장할 수 있음.● [경제적] 미래형 초소형 가스 센서 보급화에 기여하여 해당 시장 확대가 가능.● [학술적/교육적] 국내의 integrated photonics 분야 인재 양성 및 학계 형성이 기대. |
| 키워드 |
가스센서,집적광학,Ge-on-insulator,중적외선,슬롯 도파로 |