과제 상세정보
목록마이크로-전자소자 열분석 장비 개발 및 상용화
작성자
관리자
조회수
39
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 공공연 전문인력 소부장 기업파견 지원 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 마이크로-전자소자 열분석 장비 개발 및 상용화 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711149158 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-12-15 ~ 2024-12-14 | 당해연도 연구기간 | 2021-12-15 ~ 2022-12-14 |
요약 정보
| 연구목표 | 마이크로-전자소자의 발열특성 측정·분석을 위해 소자 동작 시 발생하는 국부적인 발열을 고분해능으로 측정하고 영상화하는 열반사 현미경 기반 열분석 장비 개발 공간분해능: ≤ 100 nm, 온도분해능: ≤ 20 mK, 시간분해능: ≤ 50 ns | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 다양한 물질, 다층박막 시료의 발열영상 측정을 위한 분광 열반사 현미경 개발시료의 온도변화에 따른 광반사율 변화의 스펙트럼을 측정할 수 있는 분광 열반사 측정기술 개발열반사 스펙트럼 데이터를 분석, 최적파장을 선택하여 열반사 이미지를 획득할 수 있는 분광 열반사 이미징 기술 개발 분광 열반사 현미경 시작품 개발짧은 시간 발열의 변화 측정 및 발열의 흐름 이... | ||
| 기대효과 | 본 과제를 통해 마이크로-전자소자 열분석 장비 수요자들의 성능 및 기능 요구사항들을 충족시킬 수 있는 기술들을 개발함개발된 기술들을 본 과제 참여기업에 이전하고, 기술개발 연구원들이 직접 기업에 파견되어 제품개발, 성능테스트를 지원하여 조기에 사업화함상용화되지 않은 새로운 원리를 적용하여 외산 장비에 비해 고성능, 저가격의 마이크로-전자소자 열분석 장비 국... | ||
| 키워드 | 반도체,디스플레이,센서,자가발열,열분석,열반사,현미경,광학 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 광응용기기 > 달리 분류되지 않는 광응용기기 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국기초과학지원연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국기초과학지원연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 300,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||