과제 상세정보
목록디스플레이 측정검사를 위한 저진공 주사전자현미경 기술 개발
작성자
관리자
조회수
115
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 공공연 전문인력 소부장 기업파견 지원 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 디스플레이 측정검사를 위한 저진공 주사전자현미경 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711149159 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-12-15 ~ 2024-12-14 | 당해연도 연구기간 | 2021-12-15 ~ 2022-12-14 |
요약 정보
| 연구목표 | 부도체 기판을 기반으로 하는 디스플레이 소자의 치명적 결함을 검출할 수 있는, 100~200 Pa 수준의 압력에서 작동하는 저진공 주사현미경 기술을 개발한다. 이를 위하여 10-4 ~ 200 Pa의 시료실 압력에서 작동하는 전계방출형의 가변압력 주사전자현미경 시제품을 개발하고, 실제 디스플레이 시료의 측정을 시연한다. | ||
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| 연구내용 | 차등배기가 가능한 전자칼럼의 설계 및 제작극고진공의 전자총, 전자칼럼 내부 및 저진공 시료실의 진공이 공존할 수 있는 차등배기용 압력제한개구 뭉치 개발- 10-4 Pa ~ 200 Pa 영역에서 압력 가변이 가능한 진공조절 기술 개발이차전자 검출 기반의 고분해능 결상을 위한 기체증폭형 검출기 개발전통적인 이차전자검출기와 후방산란검출기, 개발된 이차전자검출기 ... | ||
| 기대효과 | 반도체 및 디스플레이 산업에서 패턴이나 결함의 고분해능 영상을 얻기 위해 주사전자현미경이 사용되는 데, 패턴이나 기판이 부도체일 경우 시료의 전하 축적 때문에 측정 불가능함. 이러한 부도체 시료의 전하축적을 최소화하며 결상할 수 있는 산업용 가변압력 SEM 제품 개발에 활용함.천연 또는 생체 물질은 대부분 깨끗하지 않거나 습해서 전통적인 고진공 SEM을 사... | ||
| 키워드 | 주사전자현미경,가변압력주사전자현미경,환경주사전자현미경,차등압력배기,압력제한개구,고체후방산란전자검출기,기체증폭 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 전문, 과학 및 기술서비스업 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 300,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||