과제 상세정보
목록시스템 반도체 검사용 프로브 모듈 조립 시스템 개발
작성자
관리자
조회수
41
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 4. 산업계 지원 및 미래유망 기계기술 기획 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 시스템 반도체 검사용 프로브 모듈 조립 시스템 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711150623 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | ◦마이크로 홀이 있는 가이드 플레이트에 수직형 프로브를 삽입할 수 있는 자동화된 조립 시스템 시제품 개발 - 가이드 플레이트는 상, 하 2매로 구성되어 있고. 프로브를 상판과 하판에 순차적으로 통과시켜 조립 - 프로브 기판의 홀 단면 사이즈: 사각단면: 56 μm × 56 μm - 수직형 프로브 단면 사이즈: 사각단면 52 μm × 52 μm - ... | ||
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| 연구내용 | ◦초정밀 위치결정용 Micro motion stage 시스템 설계 - XY 조동 스테이지 위에 Piezo-stage가 조립된 메커니즘 ◦Micro gripping system 설계 - Micro gripper 및 micro manipulator로 구성 - Gripping algorithm 개발 - 사각단면 52 μm × 52 μm, 길이 4.5mm의... | ||
| 기대효과 | ◦ 기존의 조립공정에서 프로브의 삽입은 주로 수작업과 간이 자동화에 의존하고 있음. 이는 상판과 하판으로 구성된 프로브 기판을 프로브가 통과해야 하며, 특히 하판에 프로브를 조립하기 위해서는 하판의 정확한 구멍의 위치를 실시간 측정이 불가능하기 때문임◦ 최근에 들어서 프로브 핀이 MEMS공정에 의해 더욱 소형화되어 자동화하기에 매우 어려워짐. 특히 프로브의... | ||
| 키워드 | 시스템 반도체, 프로브, 가이드 플레이트, 조립 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 로봇/자동화기계 > 조립/정밀 이송기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 기타 공공목적 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국기계연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국기계연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 148,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||