과제 상세정보
목록Mini-SEM EDS용 검출소자 개발
작성자
관리자
조회수
61
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 연구장비개발및고도화지원 |
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과제 기본정보
| 과제명 | Mini-SEM EDS용 검출소자 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711150880 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2020-01-01 ~ 2022-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 1. 신개념 Silicon Drift Detecters (SDD) 검출소자 및 저잡음 SDD 회로기술 개발을 통해 SDD 핵심기술을 확보하고, SDD 모듈 패키지 기술개발 및 EDS 성능평가기반을 구축하여, 국내 최초 고감도/고성능 에너지분산형분광기(Energy-dispersive X-ray Spectroscopy, EDS) 검출소자 부품을 개발하고자 함2... | ||
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| 연구내용 | 1. EDS 적용을 위한 SDD 핵심기술개발을 위해 신개념 고성능 Flower-SDD 설계 기술개발, 고감도 링구조, 저항체구현, 전압 디바이더의 최적화 설계 기술개발, 전산모사 최적화를 통한 고감도 SDD 소자 및 소자집적 기술개발, 양면공정변수, 누설전류, 항복전압 등 최적화 공정 기술개발, 고감도 X선 윈도우 개발, 저잡음 SoC 기술 및 Peltie... | ||
| 기대효과 | SDD 소자의 노이즈를 향상시키고 에너지분해능을 개선시킬수 있는 특허와 신개념 Flower-SDD 설계 및 핵심 공정기술을 반도체 소자 및 센서 전문 기업인 ㈜아트로닉스에 기술이전을 함으로써, EDS 기술 상용화 및 사업화에 적극 활용할 예정임 | ||
| 키워드 | 실리콘 드리프트 디텍터, 에너지분산형 엑스선분광, 주사전자현미경 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > Sensor용 소자 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 의약보건학 |
사업비
| 국비 | 180,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||