과제 상세정보
목록냉전계방출 주사전자 현미경용 전자총 및 제어시스템의 개발
작성자
관리자
조회수
56
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 연구장비개발및고도화지원 |
|---|
과제 기본정보
| 과제명 | 냉전계방출 주사전자 현미경용 전자총 및 제어시스템의 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 과제고유번호 | 1711150887 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-04-01 ~ 2022-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-04-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 3kV에서 5nm 이하 분해능을 보여주는 냉전계방출 주사전자현미경의 전자총 및 제어시스템 개발(1단계) 10-10 Torr 이하의 도달압력을 가지는 CFE 전자총의 개발(2단계) 3kV 5nm 이하 분해능을 보여주는 CFE-SEM 시제품 제작 | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 냉전계방출 전자원 (CFE: cold field emitter)은 전자원의 크기가 2nm 이하로 20nm 정도인 FE의 1/10 이하이며, CFE의 방출 전자빔의 에너지 폭 △E = 0.3 eV 로 FE의 △E = 0.7 eV의 절반 이하임. 이에 따라 이를 채용한 주사전자현미경(SEM)인 CFE-SEM은 특히 5kV 이하의 저에너지에서 FE-SEM보다 높... | ||
| 기대효과 | [연구개발 성과]1. 고분해능 전자현미경 전자총, 대물렌즈 제작기술2. 고분해능 전자현미경 검출기 제작 및 신호 처리 기술[활용분야 및 활용방안]ㅇ 고분해능(FE-SEM) 전자현미경의 핵심기술로 CFE-SEM 제작에 활용ㅇ 차후 초고분해능(sub-nano) 전자현미경의 핵심기술인 In-Lens 타입 대물렌즈 개발에 활용가능ㅇ 전자총, 대물렌즈와 더불어 고분... | ||
| 키워드 | 주사전자현미경, 전계방출형주사전자현미경, 냉전계방출주사전자현미경, 냉전계 전자총, 냉전계 전자원 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
|---|---|---|---|---|---|
|
기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 광응용기기 > 달리 분류되지 않는 광응용기기 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)모듈싸이 | 사업자등록번호 | |
|---|---|---|---|---|
| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)모듈싸이 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 450,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
|---|---|---|---|
| 비고 | |||