과제 상세정보
목록Conical Lens를 적용한 소형전자현미경 개발
작성자
관리자
조회수
58
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 연구장비기업역량강화 |
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과제 기본정보
| 과제명 | Conical Lens를 적용한 소형전자현미경 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711150900 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-06-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-06-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | ○ 소형전자현미경(Tabletop SEM)은 Secondary SEM (이미 전자현미경을 보유하고 수요분산 목적으로 추가구매)에서 First SEM으로 용도가 변화됨에 따라 더 범용적인 제품이 필요○ 요구조건으로 Normal SEM에서 지원하는 고사양은 물론 다양한 주변기기 부착이 가능해야함. ○ 다양한 주변기기 부착을 위해서 컬럼의 공간확보를 위해 C... | ||
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| 연구내용 | ○ 5nm 분해능, 50도 이상의 각도를 가지는 Conical Lens 개발○ 자동 5축, 50mm 이상 Stroke, 1um이하 정밀도 스테이지 개발○ 전자빔 센터정렬을 위한 2단 건얼라인먼트 기구 및 알고리즘 개발○ 고속스캔(5fps 이상)을 위한 스캔모듈 및 제어 알고리즘 적용○ Easy GUI 설계를 통한 운영소프트웨어 적용○ 케이스 사출금형을 적용... | ||
| 기대효과 | ○ Conical Lens를 소형전자현미경에 적용함으로 글로벌 경쟁력을 가진 고사양 전자현미경 기본 플랫폼 확보○ 소형전자현미경 분야에서 글로벌 시장 경쟁력 확보 (외산대체 및 수출증대)○ 전자현미경은 산업의 눈으로 소재/부품 연구 및 개발의 핵심장비로 국내 관련 산업의 경쟁력 강화○ 당사의 제품으로 가장 많이 판매될 제품으로 확신함 | ||
| 키워드 | 주사전자현미경, 분해능, 소형전자현미경 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 계측기기 > 전자 계측기 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)코셈 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)코셈 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 석사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 160,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||