| 연구목표 |
4차 산업혁명 기반 조성을 위한 ICT 소재 성분 최상위 분석기술 개발 - 첨단산업체 측정 난제 해결을 위한 초정밀 원소분포 분석기술 개발 - 첨단 ICT 공정 신뢰성 확보를 위한 원소조성 최상위 측정기술 개발 - ICT 소자 제작현장 표준확립을 위한 정밀 조성분석용 표준물질 개발 |
| 연구내용 |
1. 초정밀 원소분포 분석기술 개발▪소프트웨어 적용을 통한 이종 계면의 3D 이미징▪교차분석을 통한 극미량 검출, 조성 정량화, 공간분해능 표준화▪C60 이온빔 사중극자형 이차이온질량분석법 구현 및 깊이분해능 1 nm 달성 ▪SSRM 공간분포도 분석용 CRM 개발 및 SSRM 공간분해능 5 nm 구현 2. 원소조성 최상위 측정기술 개발▪MEIS 및 ID ... |
| 기대효과 |
▪ 세계 최고 수준의 신뢰성을 갖춘 측정기술을 개발하는 것은 정밀 측정 기술 개발 및 공정 관리 차원에서 매우 큰 가치가 있음.▪ 새로운 측정 장비 개발, 인증표준물질 보급 및 확립된 소급체계를 이용한 신물질 인증 지원 서비스를 통한 사업화가 가능함. ▪ 본 사업에 의한 정밀 측정기술 개발, 활성화 원소 분포 분석 기술 및 사중극자형 이차이온질량분석기 개발... |
| 키워드 |
소재, 성분분석, 측정표준, 소급체계, 인증표준물질 |