| 연구목표 |
○ 나노수준에서 N/BT 시료의 구조분석을 위해 필수적인 렌즈 수차보정 기술이 적용 된 국내 최초의 수차보정 투과전자현미경 (aberration-corrected transmission electron microscope) 개발 ○ 수차 보정기 (aberration corrector) 개발/제어기술 및 전압 발생 기술 확보 |
| 연구내용 |
○ 수차보정 투과전자현미경 개발 연구 내용 요약 - 수차 보정기 설계 및 개발 - CFE 전자총 및 TEM/STEM 광학 시스템 설계 개발 - 고정밀 시료 스테이지 및 특수홀더 개발 - CMOS TEM 카메라 개발 - 60kV 전원 개발(투과전자현미경, 수차 보정기, 전자총, 시료스테이지, 전자빔광학, 검출기) |
| 기대효과 |
○ 본 연구개발을 통해 확보된 전압 발생 및 안정화 기술, 수차보정 및 제어기술 등의 핵심요소 기술은 개별적 혹은 통합적으로 국내 전문 업체에게 기술이전 가능 ○ 본 연구개발의 성공적인 수행을 통해 확보된 전압 제어기술은 향후 원자분해능이 가능한 고성능 TEM 장비 개발의 필수적인 기반 기술로 활용 가능 ○ 본 연구개발은 연구 수행을 통한 전자현미경 분야의... |
| 키워드 |
투과전자현미경, 수차 보정기, 전자총, 시료스테이지, 전자빔광학, 검출기 |