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2024-05-22
| 내역사업 | 기관목적사업 |
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| 과제명 | 반도체용 가스 소재의 국가 측정체계 기반 구축 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711152147 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2021-01-01 ~ 2025-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
| 연구목표 | ◦반도체용 가스 소재의 국가 측정체계 기반 구축 - 고순도 가스 소재의 순도분석용 기반시설 구축 - 가스 및 금속 불순물 분석시스템 구축 - 불화수소(HF) 순도분석 기술개발 - 불화수소 시험절차서 개발 - 반도체용 가스 소재 순도분석 기술 협의체 구성 - 순도분석용 표준물질 2 종 개발 | ||
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| 연구내용 | ◦반도체용 가스 소재의 국가 측정체계 기반 구축 - 고순도 가스 소재의 순도분석용 기반시설 구축 후처리 시설, 크린룸, 안전캐비닛, 안전설비, 분석시스템 자동화 등 - 가스 및 금속 불순물 분석시스템 구축 GC-DID, FTIR, ICP-MS 분석 시스템 구축, 시료 배관 및 도입 시스템 구축 - 불화수소(HF) 순도분석 기술개발 공기관련 불... | ||
| 기대효과 | ◦반도체용 가스 소재의 측정기술 플랫폼 확보 - 고순도 가스 소재의 측정기술 개발에 필요한 기반시설 확보 - 불순물 분석법 개발 및 순도분석 인증서 보급의 핵심기술 확보◦반도체용 가스 소재의 측정표준 시스템 구축 - 반도체용 가스 소재 분야 측정 표준 확립 - 소재 국산화 및 신소재 개발의 기반 기술로 활용 - 반도체 산업의 신기술 개발을 지원◦반도체용... | ||
| 키워드 | 불화수소, 순도분석 | ||
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 분석/물성평가기술 > 재료성분 분석기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 기타 공공목적 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
| 국비 | 4,450,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||